PVA SIRD

PVA&Tepla SIRD（原名Jena Wave） Scanning Infra-Red Depolarization 非接触式内应力检测系统

主要原理：
Wafer 下方有一个激光源，激光通过偏光器变成水平方向的一束激光透过wafer，被样品上方的Photo Diodes 接收，若wafer 无应力，激光会直接透过wafer 而不会发生任何改变，相应的P 则不会接收到任何信号，对应的数值为0，最后得到的D 值为0，说明样品内部无应力，若wafer 内部有应力，则激光的光束会变成椭圆形，再被分光镜分光，这时P 就会接收到相应的信号，最后算出的D 值则大于0，说明样品内部有应力。

主要应用：
由于wafer 内部的应力会导致产品在后续的工艺过程中产生缺陷，所以需要在wafer 制作时，或者在wafer 出货到fab 厂时，量测wafer 内部的应力，确认是否可以出货，或者用于后续的工艺过程，SIRD 用于monitor 产品各个工艺过程中产生的内部的应力，确认机台何时需要更换parts，或者需要检修，减少缺陷，提高产品良率。

应用实例：