WSMS - 晶圆表面测量系统

Munich Metrology提供了最先进的，完全整合的VPD测量系统。该WSMS包括前缘的VPD，气相分解，最先进，精密的化学品输送系统，自动提供所需的所有集成的ICP-MS分析的校准的化学品VPD和所有的化学物质样品采集系统系统。它是一台用计算机控制的系统，接受远程命令，并通过SECS / GEM工厂自动化接口提供的测量结果实时在一个完整的测量系统。该WSMS的优点包括：
• 全自动
• 最低的检出限制
• 更快地取得测量结果
• 实时操作过程
• 通过精密，无错，加药，稀释，混合和传递到两个VPD和ICP-MS的操作精确测量
• 无需人工较准, 降低成本
Utilities Dimension
Power : 220/110 V, 2.2 kW
DI water : 1.5 bar (20 psi), 2 l/h
Nitrogen : 1.5 bar (20 psi), 0.7 m3/h
Exhaust : 50 m3/h
Drain Depth : 1507 mm
Width : 2065 mm
Height : 2140 mm
Table Top : 945 mm
Weight : 1100 kg