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深圳市矢量科学仪器有限公司

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资质荣誉

诚聘英才
当前位置： > 化学机械抛光机（CMP） > CMP抛光机

CMP抛光机

品牌： 特思迪
产地： 北京
型号： POLI-762
报价： 面议
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核心参数

产地类别： 国产

产品介绍

POLI-762是小型12英寸CMP机台，采用手动装片方式，可选配半自动loading托盘，气囊薄膜柔性加压，可配置摩擦力&温度终点监控系统，用于氧化物、金属、STI、SOI、MEMS等产品的平坦化抛光，应用广泛。

功能全面

具备气囊背压功能，抛光盘内置冷却系统，可选配摆臂式修整器、摩擦力&温度检测终点监控功能、分区加压系统

操作简便

PC控制系统，触摸屏控制，可选配半自动loading托盘，一键式自动完成CMP加工

兼容性好

3路独立供液管路，便捷更换式抛光盘，可更换4、6、8、12英寸抛头，兼容不同尺寸、类型的晶圆

占地面积小

尽量减少洁净间的占地面积

性能参数

项目/型号POLI-762
最大晶圆尺寸12英寸
抛光盘尺寸Ø762mm（30inch）
抛光盘转速30~200 RPM
抛光头转速30~200 RPM
Wafer压力70~350g/cm2 气囊柔性加压
往复式修整系统可升级摆臂式修整系统
摩擦力&温度监测系统可选配，可增选EPD功能
半自动loading托盘可选配
抛头分区加压可选配
供液系统方式蠕动泵，独立3路通道


售后服务
产品货期： 60天
整机质保期： 1年
培训服务： 安装调试现场免费培训
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特思迪化学机械平坦CMP设备POLI-762的工作原理介绍

化学机械平坦CMP设备POLI-762的使用方法?

特思迪POLI-762多少钱一台?

化学机械平坦CMP设备POLI-762可以检测什么？

化学机械平坦CMP设备POLI-762使用的注意事项？

特思迪POLI-762的说明书有吗？

特思迪化学机械平坦CMP设备POLI-762的操作规程有吗？

特思迪化学机械平坦CMP设备POLI-762报价含票含运吗？

特思迪POLI-762有现货吗？

工商信息

企业名称

深圳市矢量科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91440300MA5G1QDA16

成立日期

2020-01-10

注册资本

500万人民币

经营范围

散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

联系方式

深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址

深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801

客服电话

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供特思迪CMP抛光机POLI-762，特思迪POLI-762产地为北京，属于国产化学机械抛光机（CMP），除了CMP抛光机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多化学机械抛光机（CMP）,客服电话，售前、售后均可联系。
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公司名称： 深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址： 深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801 联系人： 王雨 邮编： 518132

主营产品：

化学气相沉积设备 物理气相沉积设备 纳米压印设备 退火炉

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