您好，欢迎访问仪器信息网
注册
搜全站
搜展位
深圳市矢量科学仪器有限公司

关注

已关注

银牌2年 银牌

已认证

粉丝量 0

全部分类
首页
产品中心
网络讲堂
访客留言
联系方式
课程中心
关于我们

公司介绍

资质荣誉

诚聘英才
当前位置： > 化学机械抛光机（CMP） > 全自动CMP晶圆清洗一体机

全自动CMP晶圆清洗一体机

品牌： G&P
产地： 韩国
型号： GNP GPC-300A
报价： 面议
获取电话
点击洽谈，获取最新优惠
留言咨询
问厂商

核心参数

产地类别： 进口

产品介绍

韩国G&P的全自动CMP晶圆清洗一体机是一台可以自动抛光和清洁300毫米晶圆的机器。

规格：

抛光机部分机头，工作台:30- 200rpm，旋转运动，机头振荡(±15mm)

抛光机尺寸:宽1626 *宽1500 *高1950毫米

重量:约2500公斤压板尺寸:Φ 762毫米(30英寸)，特氟龙涂层铝

压制方式:可变空气

压力电子控制器膜类型:70-350克/平方厘米(1 psi~5 psi)的12"晶圆片

CMP制程:Si CMP、氧化物CMP(BPSG、TEOS、SC)、金属CMP(W、Cu)、STI、PGI等

可添加选项

垫式调理方法:摆头式或摆臂式

单头或双头系统

摩擦力和温度监测系统

清洁：

清洗机尺寸:w3050 / d1250 / h1960毫米

重量:约1200公斤电刷尺寸:270(外径)032(内径)320(长)毫米

配置:独立配置4个清洗工位，DIW刀预清洗，2个双面滚刷清洗，N2吹旋漂干

预清洗工位:DIW喷雾清洗，工位间DIW帷幕清洗

辊刷工位

化学：nh4oh（<1%）或DIW

刷型:双面PVA刷

转速:<满量程的±2%范围30~300rpm

化学品供应:4个喷嘴和通过刷子

可用化学:4化学

化学品流量:满量程< 1l /min

DI流量:满量程< 10l /min

转站

旋转速度:最高2500转/分

DIW冲洗/ N2吹(可选:强扫)

控制

工艺:自动上片，自动顺序，湿进/干出

程序控制:PC &触摸屏监控，程序可编程，计算机网络可比


售后服务
产品货期： 60天
整机质保期： 1年
培训服务： 安装调试现场免费培训
问商家

G&P化学机械平坦CMP设备GNP GPC-300A的工作原理介绍

化学机械平坦CMP设备GNP GPC-300A的使用方法?

G&PGNP GPC-300A多少钱一台?

化学机械平坦CMP设备GNP GPC-300A可以检测什么？

化学机械平坦CMP设备GNP GPC-300A使用的注意事项？

G&PGNP GPC-300A的说明书有吗？

G&P化学机械平坦CMP设备GNP GPC-300A的操作规程有吗？

G&P化学机械平坦CMP设备GNP GPC-300A报价含票含运吗？

G&PGNP GPC-300A有现货吗？

工商信息

企业名称

深圳市矢量科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91440300MA5G1QDA16

成立日期

2020-01-10

注册资本

500万人民币

经营范围

散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

联系方式

深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址

深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801

客服电话

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供G&P全自动CMP晶圆清洗一体机GNP GPC-300A，G&PGNP GPC-300A产地为韩国，属于进口化学机械抛光机（CMP），除了全自动CMP晶圆清洗一体机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多化学机械抛光机（CMP）,客服电话，售前、售后均可联系。
推荐产品
供应产品

手机版:

全自动CMP晶圆清洗一体机

深圳市矢量科学仪器有限公司

查看电话

沟通底价

提交后，商家将派代表为您专人服务

获取验证码

{{maxedution}}s后重新发送

获取多家报价，选型效率提升30%
提交留言
点击提交代表您同意 《用户服务协议》 《隐私政策》 且同意关注厂商展位
联系方式：

公司名称： 深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址： 深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801 联系人： 王雨 邮编： 518132

主营产品：

化学气相沉积设备 物理气相沉积设备 纳米压印设备 退火炉

友情链接：

仪器信息网APP

展位手机站