核心参数
仪器种类: 电子束蒸发镀膜机
产地类别: 国产
应用领域: 微电子学
基片尺寸: φ4英寸
基片温度范围: 最高300℃
成膜厚度均匀性: 片内膜厚均匀性:≤±3%
极限真空: ≤6.6E-5Pa
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