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深圳市矢量科学仪器有限公司

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高真空等离子体增强化学气相薄膜沉积系统

品牌： 沈阳科仪
产地： 辽宁
型号： Cluster PECVD
报价： 面议
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核心参数

加热方式： 热壁

产地类别： 国产

应用领域： 半导体

工作气压： 中央传输室：6.67E-4 Pa；沉积室：6.67E-6 Pa ；进样室：6.67 Pa

内部尺寸： 中央传输室：Φ1000×280mm ； 沉积室：260×260×280mm ；进样室：300×300×300mm

产品介绍

产品概述：

系统主要由3个真空沉积室（分别沉积P、I、N结）、1个进样室、1个中央传输室、平板式电极、基片加热台、工作气路、传送机械手、抽气系统、安装机台、射频电源、甚高频电源、尾气处理装置、真空测量及电控系统等部分组成。

设备用途：
团簇型等离子体化学气相沉积设备（PECVD），采用等离子体增强化学气相沉积技术，在光学玻璃、硅片、石英、不锈钢片等不同衬底材料上，沉积氮化硅、非晶硅、微晶硅、二氧化硅等薄膜，可以制备非晶硅、微晶硅薄膜太阳能电池器件。

真空室结构:
1个中央传输室：蝶形结构；3个沉积室：方形结构； 1个进样室：方形结构


真空室尺寸:
中央传输室：Φ1000×280mm ； 沉积室：260×260×280mm ；进样室：300×300×300mm


极限真空度:
中央传输室：6.67E-4 Pa；沉积室：6.67E-6 Pa ；进样室：6.67 Pa


沉积源:设计待定


样品尺寸，温度:
114X114X3mm， 加热温度350度，机械手传递样品


占地面积（长x宽x高）:
约13米x9米x2.3米（设计待定）


电控描述:
全自动控制


工艺:
在80X80mm范围内硅膜的厚度均匀性优于±5%


特色参数 :
共有8路工作气体



售后服务
产品货期： 60天
整机质保期： 1年
培训服务： 安装调试现场免费培训
问商家

沈阳科仪化学气相沉积（CVD）Cluster PECVD的工作原理介绍

化学气相沉积（CVD）Cluster PECVD的使用方法?

沈阳科仪Cluster PECVD多少钱一台?

化学气相沉积（CVD）Cluster PECVD可以检测什么？

化学气相沉积（CVD）Cluster PECVD使用的注意事项？

沈阳科仪Cluster PECVD的说明书有吗？

沈阳科仪化学气相沉积（CVD）Cluster PECVD的操作规程有吗？

沈阳科仪化学气相沉积（CVD）Cluster PECVD报价含票含运吗？

沈阳科仪Cluster PECVD有现货吗？

工商信息

企业名称

深圳市矢量科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91440300MA5G1QDA16

成立日期

2020-01-10

注册资本

500万人民币

经营范围

散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

联系方式

深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址

深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801

客服电话

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供沈阳科仪高真空等离子体增强化学气相薄膜沉积系统Cluster PECVD，沈阳科仪Cluster PECVD产地为辽宁，属于国产化学气相沉积设备，除了高真空等离子体增强化学气相薄膜沉积系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多化学气相沉积设备,客服电话，售前、售后均可联系。
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公司地址： 深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801 联系人： 王雨 邮编： 518132

主营产品：

化学气相沉积设备 物理气相沉积设备 纳米压印设备 退火炉

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