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核心参数
产地类别： 进口
ICP-RIE等离子体蚀刻设备 RIE-800iP
卓越的重复性和稳定性
概要
高密度等离子体蚀刻系统采用电感耦合等离子体作为放电形式。该系统配备了真空盒室，是一套完整的生产系统，具有优良的工艺重复性和稳定性。
主要特点和优点
新的ICP源 "HSTC™: Hyper Symmetrical Tornado Coil"。
可高效稳定地应用高射频功率（2千瓦以上），并实现良好的均匀性。
大流量排气系统
排气系统直接连接到反应室，可以实现从小流量和低压范围到大流量和高压范围的广泛工艺窗口。
下电极升降机构
晶片和等离子体之间的距离经过优化，以确保良好的平面内均匀性。
易于维护的设计
TMP(涡轮分子泵)集成在设备中，便于更换
应用
GaN、GaAs、InP等化合物半导体的高精度加工。
SiC、SiO₂的高速加工。
蚀刻铁电材料（PZT、BST、SBT、SBT）、电极材料（Pt、Au、Ru、Al）和其他难以蚀刻的材料。
複合式半導體晶片的等離子切割和薄型化。
SAMCO湿法刻蚀设备RIE-800iP的工作原理介绍
湿法刻蚀设备RIE-800iP的使用方法?
SAMCORIE-800iP多少钱一台?
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湿法刻蚀设备RIE-800iP使用的注意事项？
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SAMCORIE-800iP有现货吗？
企业名称
深圳市矢量科学仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
91440300MA5G1QDA16
成立日期
2020-01-10
注册资本
500万人民币
经营范围
散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。
深圳市矢量科学仪器有限公司
公司地址
深圳市光明区凤凰街道塘尾社区同惠路恒泰裕大厦 3A 栋 18 层1801
客服电话
公司名称： 深圳市矢量科学仪器有限公司
公司地址： 深圳市光明区凤凰街道塘尾社区同惠路恒泰裕大厦 3A 栋 18 层1801 联系人： 王雨 邮编： 518132
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