核心参数
产地类别: 进口
RIE-300NR是一种理想的反应离子蚀刻系统,适用于加工ø300mm晶圆和多晶圆(ø3"×12,ø4"×8等),具有优异的均匀性。该系统的设计旨在最大限度地减少工厂空间需求,提高产量,最大限度地延长正常运行时间,并通过可靠的硬件和便捷的服务降低拥有成本。
最大加工范围:ø350 mm (ø3" x 12, ø4" x 8, ø12" x 1)
用户友好的触摸屏界面
全自动 "一键式 "操作,可完全手动操作。
优化的喷淋头可提供工艺气体的均匀性。
减少停留时间的近距离耦合气体输送箱。
对称的疏散设计与TMP相结合,形成了有效的流动。
自动压力控制,可精确控制工艺压力,不受气体流量影响。
干式泵和系统布局便于维护。
去除夹层膜,用于ø300mm的失效分析。
蚀刻Si、SiO2、SiN和聚硅氧烷。
树脂的蚀刻和脱胶
光阻剂的灰化、剥离和除尘。
表面改性(润湿性和粘附性的改善
SAMCO湿法刻蚀设备RIE-300NR的工作原理介绍
湿法刻蚀设备RIE-300NR的使用方法?
SAMCORIE-300NR多少钱一台?
湿法刻蚀设备RIE-300NR可以检测什么?
湿法刻蚀设备RIE-300NR使用的注意事项?
SAMCORIE-300NR的说明书有吗?
SAMCO湿法刻蚀设备RIE-300NR的操作规程有吗?
SAMCO湿法刻蚀设备RIE-300NR报价含票含运吗?
SAMCORIE-300NR有现货吗?
企业名称
深圳市矢量科学仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
91440300MA5G1QDA16
成立日期
2020-01-10
注册资本
500万人民币
经营范围
散热材料的研发与销售;增减材制造设备的研发与销售;电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修;系统集成;办公室用品批发;实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品);国内贸易,货物及技术进出口;工程技术咨询服务;单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让;一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营);仪器仪表制造;实验分析仪器制造;通用设备制造(不含特种设备制造)。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动);普通货物仓储服务(不含危险化学品等需许可审批的项目);国内货物运输代理;装卸搬运;工程技术服务(规划管理、勘察、设计、监理除外);通讯设备修理;运输货物打包服务;仪器仪表修理;信息系统集成服务;基于云平台的业务外包服务;金属制品修理;电气设备修理;通用设备修理;专用设备修理;通信传输设备专业修理;电子、机械设备维护(不含特种设备);工业互联网数据服务;信息系统运行维护服务;通信交换设备专业修理。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务;第二、三类医疗器械的销售。
深圳市矢量科学仪器有限公司
公司地址
深圳市光明区凤凰街道塘尾社区同惠路恒泰裕大厦 3A 栋 18 层1801
客服电话