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核心参数
产地类别： 进口
去胶设备NA-1300系列
产品特性 / Product characteristics
• 次世代晶圆工艺必须的 1 x 1016atoms/cm2以上离子注入剥离工艺、PI去除工艺中，可实现低颗粒工艺。
• 添加F系气体工艺适合的腔体构成，可对应低颗粒需求。因此，从普通PR到离子注入剥离、有机膜剥离（PI，DFR等）、氧化膜刻蚀等
非常广泛的工艺均可对应。
• 采用简单的设备构成可同时实现“维修性·信赖性”。
• 有弹性的腔体构成选择（μ波、RIE、μ波＋RIE），可实现丰富的搬送路经。
• 仅设定工艺菜单即可切换晶圆尺寸，晶圆尺寸容易实现。
产品应用 / Product application
•道后端工艺的离子注入剥离工艺(1 x 1016atoms/cm2以上)的PI除去
•添加CF4工艺必要的晶圆工艺(电子部件・LED)
•芯片封装的BUMP工艺
•CCD颜色过滤膜的制造工艺
产品参数 / Product parameters
爱发科去胶机NA-1300系列的工作原理介绍
去胶机NA-1300系列的使用方法?
爱发科NA-1300系列多少钱一台?
去胶机NA-1300系列可以检测什么？
去胶机NA-1300系列使用的注意事项？
爱发科NA-1300系列的说明书有吗？
爱发科去胶机NA-1300系列的操作规程有吗？
爱发科去胶机NA-1300系列报价含票含运吗？
爱发科NA-1300系列有现货吗？
企业名称
深圳市矢量科学仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
91440300MA5G1QDA16
成立日期
2020-01-10
注册资本
500万人民币
经营范围
散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。
深圳市矢量科学仪器有限公司
公司地址
深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801
客服电话
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