核心参数
产地类别: 进口
ICP-RIE等离子体蚀刻设备 RIE-350iPC
最大ø350毫米的托架
RIE-350iPC是一种盒式装载电感耦合等离子体(ICP)蚀刻设备,可处理多达ø350毫米的载盘,用于多晶圆批量处理。
该系统为各种蚀刻应用提供了坚固可靠的硬件和卓越的工艺控制,具有较高的生产率,如功率器件、微型LED、VCSEL、LD、电容器和射频滤波器。
最大加工范围:ø350 mm (ø3" x 12, ø4" x 8, ø12" x 1)
先进的ICP源HSTC™(Hyper Symmetrical Tornado Coil)能有效地提供均匀的高密度等离子体,并在大面积上具有优异的蚀刻均匀性。
对称的疏散设计与TMP相结合,形成了高效的流动。
优化的气体歧管,提供工艺气体的均匀性。
可选的光学/干涉式端点检测系统可实现对多个工艺运行的精确蚀刻深度控制。
GaN、GaAs、InP和SiC的高精度蚀刻
SiN和SiO2的蚀刻
电介质和金属的蚀刻
用于HBLED的PSS(图案化蓝宝石衬底)加工
SAMCO湿法刻蚀设备RIE-350iPC的工作原理介绍
湿法刻蚀设备RIE-350iPC的使用方法?
SAMCORIE-350iPC多少钱一台?
湿法刻蚀设备RIE-350iPC可以检测什么?
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SAMCORIE-350iPC有现货吗?
企业名称
深圳市矢量科学仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
91440300MA5G1QDA16
成立日期
2020-01-10
注册资本
500万人民币
经营范围
散热材料的研发与销售;增减材制造设备的研发与销售;电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修;系统集成;办公室用品批发;实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品);国内贸易,货物及技术进出口;工程技术咨询服务;单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让;一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营);仪器仪表制造;实验分析仪器制造;通用设备制造(不含特种设备制造)。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动);普通货物仓储服务(不含危险化学品等需许可审批的项目);国内货物运输代理;装卸搬运;工程技术服务(规划管理、勘察、设计、监理除外);通讯设备修理;运输货物打包服务;仪器仪表修理;信息系统集成服务;基于云平台的业务外包服务;金属制品修理;电气设备修理;通用设备修理;专用设备修理;通信传输设备专业修理;电子、机械设备维护(不含特种设备);工业互联网数据服务;信息系统运行维护服务;通信交换设备专业修理。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务;第二、三类医疗器械的销售。
深圳市矢量科学仪器有限公司
公司地址
深圳市光明区凤凰街道塘尾社区同惠路恒泰裕大厦 3A 栋 18 层1801
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