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步进式光刻机

品牌: 日本佳能
产地: 日本
型号: Canon FPA3000 EX4
报价: 面议
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核心参数

分辨率: 0.25µm

光源波长: 248nm

曝光面积: 22mm*22 mm

产品介绍
Canon FPA3000 EX4
Canon FPA3000 EX4步进式光刻机
光源波长248nm
分辨率优于0.25µm
主要用于主要用于4寸、6寸、8寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
产品详情
主要技术指标

分辨率0.25µm
N.A.0.4~0.6
曝光光源248nm
倍率5:1
最大曝光现场22mm*22 mm
对准精度60nm


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产品货期: 60天
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培训服务: 安装调试现场免费培训
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工商信息

企业名称

深圳市矢量科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91440300MA5G1QDA16

成立日期

2020-01-10

注册资本

500万人民币

经营范围

散热材料的研发与销售;增减材制造设备的研发与销售;电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修;系统集成;办公室用品批发;实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品);国内贸易,货物及技术进出口;工程技术咨询服务;单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让;一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营);仪器仪表制造;实验分析仪器制造;通用设备制造(不含特种设备制造)。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动);普通货物仓储服务(不含危险化学品等需许可审批的项目);国内货物运输代理;装卸搬运;工程技术服务(规划管理、勘察、设计、监理除外);通讯设备修理;运输货物打包服务;仪器仪表修理;信息系统集成服务;基于云平台的业务外包服务;金属制品修理;电气设备修理;通用设备修理;专用设备修理;通信传输设备专业修理;电子、机械设备维护(不含特种设备);工业互联网数据服务;信息系统运行维护服务;通信交换设备专业修理。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务;第二、三类医疗器械的销售。

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公司名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址: 深圳市光明区凤凰街道塘尾社区同惠路恒泰裕大厦 3A 栋 18 层1801 联系人: 王雨 邮编: 518132

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