1、微米级局域激光退火系统产品简介
微米级局域激光退火系统可定向修饰量子比特的频率参数 ,提高量子芯片的良品率,解决多比特扩展中比特频率拥挤的问题。该系统可配置高真空退火腔体和惰性气体退火腔体,实现量子芯片的真空局域退火和惰性气体氛围退火功能。该系统亦可适用于半导体芯片、材料表面改性处理等领域。
2、微米级局域激光退火系统产品特点
比特频率修饰准确性超过99%(300个比特样品)
激光功率0~2.5W可调,功率稳定性RMS优于0.5%(10h内)
退火目标区域定位精度达百纳米级
系统全自动化控制,可多点一键退火,人机交互便捷
微米级光斑,激光光斑形状尺寸可定制
3、微米级局域激光退火系统产品参数
退火重复性:常温电阻修饰准确性超过 99%(300 个比 特退火比例标准差)
激光波长:532 nm
激光输出功率:支持可变功率 0-2.5W,最小调节单位 0.01W
功率稳定性:激光功率稳定性 RMS 0.5% (10h 内)
激光光斑:直径 20μm±2μm(有效退火范围),支持 定制形状尺寸
退火时间控制:最短退火时间 40ms
可处理芯片尺寸:2inch(其他规格形状可定制)
芯片定位精度:±0.25μm (X/Y 方向)
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企业名称
本源量子计算科技(合肥)股份有限公司
企业信息已认证
企业类型
其他股份有限公司(非上市)
信用代码
91340100MA2P1E699C
成立日期
2017-09-11
注册资本
柒佰贰拾万贰仟贰佰捌拾肆圆整
经营范围
一般项目:量子计算技术服务;软件开发;软件销售:集成电路设计;集成电路制造;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;集成电路芯片及产品制造;数据处理服务;信息技术咨询服务;大数据服务;云计算装备技术服务;仪器仪表销售;仪器仪表制造;电子元器件与机电组件设备销售;电子元器件与机电组件设备制造;电子测量仪器销售;电子测量仪器制造;信息系统集成服务;信息系统运行维护服务;计算机软硬件及外围设备制造;计算机软硬件及辅助设备零售;计算机系统服务;人工智能硬件销售;人工智能双创服务平台;人工智能公共服务平台技术咨询服务;人工智能公共数据平台;人工智能基础资源与技术平台;人工智能应用软件开发;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;业务培训(不含教育培训、职业技能培训等需取得许可的培训);教育咨询服务(不含涉许可审批的教育培训活动);货物进出口;技术进出口(除许可业务外,可自主依法经营法律法规非禁止或限制的项目)
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