核心参数
产品类别: 表面电阻率探针台
操作类型: 半自动
可测圆片尺寸: 12寸以下
其它参数
本源量子无损探针台NDPT-100产品介绍
无损探针台是一款应用于超导量子芯片常温电参数精密测量的半自动化设备,最小测量范围至微米级。 该设 备最大的特点是可以在不影响量子比特性能的情况下,实现量子比特常温电参数的测量。该设备同样适用于半导 体行业的晶圆精密电参数测试。
无损探针台NDPT-100产品特点
高稳定性、高运动精度、多自由度可控的芯片吸附载台
显微镜倍率可变,测试最小区域达微米级
探针造成的薄膜伤痕直径最小在1μm以内
半自动化控制,人机交互便捷
无损探针台NDPT-100产品参数:
测量样品:12 寸及以下;真空吸附
XY 方向运动定位精度: 3μm
XY 方向重复定位精度:0.5μm
Z 向重复定位精度:1μm
Z 向分辨率:FULL/HALF STEP 0.5um/0.25μm
显微镜放大倍数:1.25X-15X,分辨率 11.18-1.68μm
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企业名称
本源量子计算科技(合肥)股份有限公司
企业信息已认证
企业类型
其他股份有限公司(非上市)
信用代码
91340100MA2P1E699C
成立日期
2017-09-11
注册资本
柒佰贰拾万贰仟贰佰捌拾肆圆整
经营范围
一般项目:量子计算技术服务;软件开发;软件销售:集成电路设计;集成电路制造;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;集成电路芯片及产品制造;数据处理服务;信息技术咨询服务;大数据服务;云计算装备技术服务;仪器仪表销售;仪器仪表制造;电子元器件与机电组件设备销售;电子元器件与机电组件设备制造;电子测量仪器销售;电子测量仪器制造;信息系统集成服务;信息系统运行维护服务;计算机软硬件及外围设备制造;计算机软硬件及辅助设备零售;计算机系统服务;人工智能硬件销售;人工智能双创服务平台;人工智能公共服务平台技术咨询服务;人工智能公共数据平台;人工智能基础资源与技术平台;人工智能应用软件开发;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;业务培训(不含教育培训、职业技能培训等需取得许可的培训);教育咨询服务(不含涉许可审批的教育培训活动);货物进出口;技术进出口(除许可业务外,可自主依法经营法律法规非禁止或限制的项目)
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安徽省合肥市高新区望江西路900号中安创谷D8栋
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