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核心参数
产地类别： 国产
仪器类别： 光学图形化缺陷检测设备
主要应用： 半导体行业
套刻（Overlay）
套刻对准是将工艺上下层对准的过程，套刻误差定义为两层之间的偏移。套刻误差测量通常是指对两层不同材料的不同套刻标记，通过图像、算法处理获得两层之间偏移值的过程。
针对测量套刻误差，天准半导体测量设备支持测量Box-in-Box、Frame-in-Frame、L-Bars、Circle-in-Circle、Cross-in-Cross或定制开发其他的结构。
关键尺寸（CD）
光学测量是一种非接触式、非破坏性的测量技术，精确且快速，可通过CCD图像提取结构强度信息来计算宽度。强度图必须要进行额外处理，以使其免受噪声或变形的干扰。
天准半导体测量设备已具备消除这类干扰的功能，对低于0.7μm的特征结构，系统支持使用UV光测量。
膜厚（Film Thickness）
测量设备拥有定期自动校准功能，支持测量透明和半透明的介质膜，最多可测量三层膜。
DaVinci G5主要特点
①高精度、高重复性 Overlay 量测
②高深宽比测量
③简洁快速的数据处理与大数据链接
天准晶圆缺陷光学检测设备DaVinci G5的工作原理介绍
晶圆缺陷光学检测设备DaVinci G5的使用方法?
天准DaVinci G5多少钱一台?
晶圆缺陷光学检测设备DaVinci G5可以检测什么？
晶圆缺陷光学检测设备DaVinci G5使用的注意事项？
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天准DaVinci G5有现货吗？
企业名称
苏州天准科技股份有限公司
企业信息已认证
企业类型
股份有限公司(上市、自然人投资或控股)
信用代码
91320500694456896Y
成立日期
2009-08-20
注册资本
19244.5万元整
经营范围
研发、生产、销售:测量和检测设备、测量和检测系统、机器人与自动化装备、自动化立体仓库及仓储物流设备、大型自动化系统、激光技术及装备、光电传感器、计算机软硬件产品、信息技术与网络系统、光学产品、电子产品、机械产品，并提供以上产品的技术服务、技术咨询、租赁、附属产品的出售，自营和代理各类商品及技术的进出口业务.(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动).许可项目:发电业务、输电业务、供(配)电业务(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以审批结果为准)
苏州天准科技股份有限公司
公司地址
苏州市高新区科技城五台山路188号
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公司名称： 苏州天准科技股份有限公司
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