核心参数
产地类别: 国产
操作方式: 全自动
测量范围: ≥400*300*200mm
光栅尺分辨率: 0.01 μm超高精度光栅尺
测量速度: XY轴 100mm/s,Z轴 50mm/s
放大倍数: 25-2829倍
光源: 轮廓光、落射光、同轴光
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