近日，天准科技参股的苏州矽行半导体技术有限公司（下文简称“矽行半导体”）宣布，公司面向40nm技术节点的明场纳米图形晶圆缺陷检测设备TB1500已完成厂内验证，标志着国产半导体高端检测设备实现了新的突破。这是继去年8月，天准科技正式交付面向12英寸晶圆65~90nm技术节点的宽波段明场缺陷检测设备TB1000不到一年后，再次取得的阶段性新进展。高精度明场缺陷检测设备的重要性从整片晶圆到单颗芯片，除了需要耳熟能详的光刻机外，还需要扩散炉、刻蚀机、离子注入机、薄膜沉积设备、化学机械抛光机和清洗机等一系列必备生产型设备。而缺陷检测设备作为保证芯片质量、降低生产成本，推进工艺迭代的重要工具，在芯片生产流程中不可或缺。特别是随着工艺制程不断演进，制造芯片的成本越来越高，检测设备的重要性与日俱增。其中，拥有更高检测精度、更全缺陷类型覆盖率的明场缺陷检测设备备受行业青睐。作为国产半导体设备厂商的代表，成立于2021年11月的矽行半导体，汇聚了来自国内外知名半导体设备公司、晶圆代工厂、上市公司和研究机构的顶尖人才，专注于高端晶圆缺陷检测设备及零部件的研发、生产和销售，努力填补国产缺陷检测设备市场的空白。依托卓越的技术团队和先进的技术实力，逐步打破了KLA等外商对缺陷检测市场的垄断，为国内半导体产业的发展注入了新的活力。TB1500是矽行半导体最新的研发成果，核心关键部件全部实现自主可控，同时采用了先进的信号处理算法，有效提高信噪比和检测灵敏度。为了满足40nm技术节点的工艺制程需求，TB1500提升了光源亮度和感度，增大了物镜视野和速度，能够捕捉更小缺陷尺寸。天准科技半导体设备深布局，助推国产半导体行业突破此外，天准科技在半导体设备领域持续发力。全资子公司MueTec研发的面向12英寸40nm技术节点的DaVinci G5设备，经过大量的晶圆实测数据验证，表现优异。与前两代产品相比，该设备提升了重复性、吞吐量和高深宽比套刻标记识别能力，将在满足大规模生产的需求下，使复杂芯片图案的套刻精度检测成为可能，极大地提高制造效率。天准科技致力打造卓越视觉装备平台企业，通过自主研发、海外并购德国MueTec和战略投资成立矽行公司等多种途径，强化在半导体检测设备领域的布局。据悉，矽行半导体面向28nm技术节点的TB2000设备当前进展顺利，各核心零部件均已完成开发，计划于2024年底发布样机。随着人工智能、大数据等技术的融合与发展，半导体检测设备将趋向更高精度、更高效率和更高智能化的方向演进。未来，天准科技将凭借其技术创新和战略布局，继续推动技术和产品升级，力争在半导体领域成为一流的半导体量测与检测设备公司，助力国产半导体行业突破。

近年来，我国高端制造业蓬勃发展，对高精度测量设备的需求持续攀升，极大地推动了以三坐标测量机为代表的精密测量仪器市场的迅猛增长。众多国内外知名品牌竞相涌入这一赛道，同时，也催生了一批崭露头角的国产新兴力量。在国产替代需求日益增长的趋势下，中国三坐标测量机企业迎来了前所未有的发展机遇。为深入了解中国三坐标测量机产业的发展态势，仪器信息网成立25周年之际，特别策划了“万里行”系列走访活动。该活动深入中国三坐标测量机代表性企业，与行业专家共同开展实地走访，探寻产业发展的最新进展和亮点，为发展新阶段赋能。走访第3站，由上海大学李明教授，仪器信息网产业研究部主任武自伟、营销服务中心经理韩永风、测量仪器编辑牛亚伟等组成的走访项目组走进苏州天准科技股份有限公司（以下简称“天准科技”），天准科技计量事业部技术总监王志伟博士、市场部负责人等接待了走访一行人员。——企业发展进展天准科技成立于2005年，总部位于苏州，致力于以领先技术推动工业数字化智能化发展,致力打造卓越视觉装备平台企业。初创之际，天准科技便聚焦工业视觉领域，专注于运用前沿视觉技术实现精密测量的新高度。2007年，天准科技首台高端全自动影像仪问世，随后与中国计量科学研究院合作编著的《影像测量仪技术基础》，是国内首部“影像测量仪”技术专著，为该仪器品类国产化奠定了基础。天准科技园2013年，天准科技迎来里程碑式的飞跃，牵头承担的科技部国家重大科学仪器设备开发专项——“复合式高精度坐标测量仪器开发和应用”项目，研制出我国首台测量精度达到0.3微米的复合式高精度坐标测量仪器，同年订单额突破一亿。以此为契机，天准科技启动了战略升级2.0，将机器视觉技术应用在高端制造生产线上，布局平台化的产品矩阵，辐射汽车、光伏、PCB等多个行业，业务快速发展。2019年，天准科技凭借出色的市场表现和技术实力，成功登陆科创板，成为首批过会的三家企业之一，开启了资本市场的新篇章。2021年，公司收购德国半导体检测设备公司MueTec，正式进军半导体设备领域，由此公司完成视觉装备平台化布局，正式迈进战略3.0时代。步入2022年，天准科技持续高歌猛进，业绩再创新高，订单额强势突破20亿元大关。2023年，天准科技迎来又一重要里程碑——第10000台影像测量仪成功下线。公司成立了计量事业部，启动“0.3μm国家重大科学仪器专项”成果转化三坐标测量机的商业化量产。为此，公司不惜耗资近千万扩大研发团队和实验室搭建，对研发车间进行了全方位的改造升级与科学布局，这一举措充分彰显了天准科技推动三坐标测量机国产替代的坚定决心与强大信心。计量事业部研发车间目前，天准科技已汇聚了一支超过2200人的精英团队，其中研发人员超800人，年度研发费用占营收比例高达20%。这一数据不仅体现了公司对技术创新的极度重视，也为其在视觉装备领域的持续领先提供了强有力的支撑。——产品技术与布局天准科技自创立之初，以单一的影像测量仪为基石；历经多年深耕细作，如今天准科技已构建起一个涵盖20余条产品线的庞大体系，形成了视觉测量装备、视觉检测装备、视觉制程装备和智能驾驶四大业务战略支柱，应用范围更是拓展至工业计量、消费电子、光伏、半导体、PCB、新能源汽车等精密制造领域和智能驾驶领域。在工业计量领域，天准科技匠心打造了VM系列影像测量仪与CM系列三坐标测量机两大精品系列。在消费电子领域，公司聚焦于玻璃瑕疵检测设备与点胶检测一体设备的研发和生产。在半导体领域，天准科技通过战略收购MueTec，将晶圆前道测量技术纳入其技术版图，同时，成立苏州矽行半导体技术有限公司，积极推动明场纳米图形晶圆缺陷检测设备的研发。在PCB领域，公司形成包含4个产品系列的完善业务布局，包括LDI激光直接成像设备、AOI缺陷检测设备、CO2激光钻孔机和TZM高速贴片机。在光伏领域，天准科技亦不遗余力，专注于光伏硅片检测分选设备的研发与应用，以科技创新推动绿色能源产业的可持续发展。王志伟谈到，当年市场客观条件限制了天准科技“复合式高精度坐标测量仪器开发与应用”专项的商业化量产，但这一技术成果为公司的其他测量设备注入了强大的技术动力。近些年，随着全球市场环境的变化，加速了三坐标国产化进程的步伐，国产化的呼声日益高涨。面对这一历史性的机遇，天准科技果断决策，重组并扩大计量仪器事业部，旨在将多年累积的专项技术成果转化为实际生产力。“计量事业部研发人员占比超过50%。在此基础上，天准科技推出的新品VMZ影像测量仪，在精度、智能化及复合功能方面均实现了质的飞跃。同时，公司自研的三坐标测量机Vispec Pro软件系统、HSP测头/TR50旋转测座探测系统、驱控一体TCC电控、直线电机驱控技术预计将于明年正式装机应用。”“尤为值得一提的是，天准科技自研的CM系列三坐标测量机以差异化竞争为核心策略，不仅在测头结构设计上实现了创新突破，更在软件智能化方面下足功夫，力求为用户提供无需复杂培训即可上手操作的便捷体验。”王志伟介绍到。天准CM系列三坐标测量机——国产三坐标测量机发展观点对于国产三坐标测量机产业而言，要想在激烈的市场竞争中持续健康发展，天准公司表示，创新是不可或缺的核心驱动力。在当前行业“内卷”加剧的背景下，企业更需加大创新力度，通过在产品材料、工艺及关键技术的差异化创新，以及在细分市场中探索商业模式的创新，构建独特的竞争优势。创新是企业提升产品附加值、增强市场竞争力的关键所在，更是避免价格战、保障利润空间、实现可持续经营的必由之路。合影留念

2024年6月18日，在第十六届中国国际机床工具展览会(CIMES)上，苏州天准科技股份有限公司（以下简称“天准”）隆重发布了全新VMZ超高精度影像仪。该新品实现了测量精度高达0.8μm的突破，最大倍率高达4000倍。出色的测量精度和稳定性，使其能够轻松应对各种复杂测量任务，适用于半导体、微组装、光通信等高精度测量场景。自创立以来，天准一贯坚持以自研创新为基石，通过极强的服务意识助力客户实现质量的自主管理，秉持民族品牌自强的理念，致力于以领先技术推动工业数字化智能化发展。影像测量仪作为天准创立之初的第一款产品，自2007年第一代自动影像仪问世，到去年第10000台的成功下线，数字的变化见证了天准测量系统业务的快速发展和不断壮大。天准科技计量事业部技术副总徐昕为发布会致辞。他首先介绍了天准的基本情况与发展里程碑。他表示，天准致力打造卓越视觉装备平台企业，深耕工业计量、消费电子、半导体、PCB、光伏、新能源汽车、智能驾驶七大领域。其中，天准计量产品包括影像测量仪、闪测仪、三坐标测量机。（天准科技计量事业部技术副总 徐昕）徐副总深入阐述了影像测量仪的发展历程。他强调，当前国产影像测量仪已在中低端市场占据主导地位，而高端市场仍以进口品牌为主。天准推出的VMZ超高精度影像测量仪在精度和放大倍率方面表现出色，有望实现全面的国产替代。徐副总进一步表示，天准在影像测量仪产品上坚持创新，在产品功能、精度、稳定性、交付、客户定制需求等方面长期保持领先。随着工业4.0战略的实施和新质生产力的发展，数字化和智能制造已经成为高端制造业的核心驱动力。在这一背景下，制造业对生产效率、成本控制以及高端进口设备的国产替代需求愈发迫切，同时，也推动影像测量仪等精密测量设备向高效率、高精度、复合式方向不断发展。随后，天准计量事业部商务总监宋许文详细阐述了VMZ影像测量仪的特点及应用场景。他强调，VMZ超高精度影像测量仪是天准影像测量仪中的佼佼者，测量精度一马当先，可以搭配高倍显微镜头，将微观世界无限放大，清晰揭示复杂而精妙的微观构造。该新品在半导体行业的应用主要集中在封装工艺。VMZ超高精度影像测量仪在测量精度以及稳定性上实现了跨越式提升，其核心部分搭载了纳米级零膨胀系数光栅尺、永磁零磨损的直线电机驱动技术，多镜头多倍率融合标定算法，既确保了测量精度，还保证了仪器在长期运行下的稳定性与可靠性。（天准科技计量事业部商务总监 宋许文）此外，VMZ超高精度影像仪拥有灵活多变的光学系统配置，使得VMZ超高精度影像仪能够充分满足复杂多样的测量场景。同时，该影像测量仪还具备AI特色功能，可精准测量复杂边界，自动匹配样图等，极大地提高了测量效率和准确性。（中间：天准科技计量事业部总经理 刘雪亮）发布会现场，仪器信息网特别采访了天准公司的典型客户——瑞萨半导体（北京）有限公司的资深工程师司建杰先生。司建杰分享了瑞萨半导体自2017年起与天准的合作经历。目前，瑞萨半导体的生产线上配置了多台天准影像测量仪，这些设备在芯片引脚、平面度等关键尺寸的精准测量上发挥着重要作用。司建杰对天准影像测量仪给予了高度评价，他特别指出其测量速度快、精度高、稳定性强的特点，在半导体行业中显得尤为重要。此外，他还对天准公司提供的定制化解决方案和优质售后服务表示赞赏。在谈到精密测量仪器的发展时，司建杰表达了自己的独到见解。他认为，随着半导体行业的不断发展，对测量仪器的要求也越来越高。他期待天准能够持续加大研发和创新力度，推出更多具有多元化功能的测量仪器。同时，他也期望天准能够在未来超越进口产品，实现国产精密测量仪器的全面替代。（客户代表：瑞萨半导体（北京）有限公司的资深工程师 司建杰）展会期间，中国计量科学研究院长度精密测量研究室原主任张恒也莅临了天准展台，与技术人员进行了深入交流与探讨。VMZ高精度影像测量仪吸引了张恒主任的特别关注，在详细了解这款新品的核心参数和应用场景后，他对该影像测量仪给予了高度肯定和认可。同时，他期望天准能在计量精密仪器制造领域持续发挥创新精神，进一步推动精密仪器制造业向数字化智能化发展。（中间：中国计量科学研究院长度精密测量研究室原主任 张恒）本次展会，天准带来了多款适用不同行业精度需求的测量解决方案，包括CMZ计量型/CMU高精度/CME经济型的CM系列三坐标测量机，以及VMG龙门/VMQ闪测的VM系列影像测量仪。随着制造业的转型升级，精密测量在航空航天、汽车、电子、半导体等领域的应用需求不断增长。未来，天准在精密测量领域将继续保持其在技术创新、市场应用、产品性能、产业链整合和国际化战略等方面的优势，坚持以科技创新推动产业创新，持续为工业客户赋能，引领中国影像测量仪精度迈向国际顶尖水平，助力制造业向更高端化、更智能化的方向发展。