MFC 气体质量流量计

GF100 系列金属密封热质量流量控制器和仪表

高纯度流路。出色的性能、可靠性和可重现性。

型号 GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSL / GF121

GF100 系列金属密封质量流量控制器和仪表性能：快速响应和可重现的高纯度/超高纯度过程气体输送。专为半导体、MOCVD 等其他气体流量控制应用设计，GF100 系列在可靠性方面优于半导体行业标准水平，可确保测量结果可重现并且长时间使用后性能依然高度稳定。一台采用标准 MultiFlo™ 技术的 MFC 即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度。

结果：提高工艺灵活性和效率辅以业内最高纯度的过程气体，有助于最大限度提高产率和生产效率。

特点

长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 ± 0.5%

稳定时间：700 ms - <1 秒

满量程流速高达 300 slpm

全金属密封流路：可选择采用 4μ 或 10μ 英寸 Ra 表面处理的流路

耐腐蚀 Hastelloy® T-Rise 传感器可提升高温下测量结果的可重现性

MultiFlo™ 气体和量程设定功能 — 一台设备即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度

本地显示屏

可选 SDS 气体输送

DeviceNet™、RS-485 L-协议和模拟接口

优势

按照半导体行业标准对高性能组件进行七次连续测试以确保其可靠性

表面积和未吹扫体积更小的全金属耐腐蚀流路可确保流路在吹扫步骤更快干燥

MultiFlo™ 技术可在 60 秒内完成新过程气体和/或量程的设定操作 – 不再需要拆除并校准 MFC

高度可配置平台可使大部分品牌的金属密封 MFC 实现插入式更换和升级，适用范围包括早期的 Celerity、Mykrolis、Tylan 和 UNIT 品牌产品

GF120 安全输送系统 (SDS®) 是布鲁克斯仪器公司最先进的低压损质量流量控制器，适用于输送注入和势垒层腐蚀过程中使用的次大气压安全输送系统 (SDS) 气体

便捷的用户显示屏和独立的诊断/维护端口有助于设备安装、监测和故障排除

应用

半导体蚀刻工具

薄膜化学气相沉积系统（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）

物理气相沉积 (PVD) 系统

外延工艺系统