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台阶仪探针之下,精准丈量微观世界

2024-08-05 14:27

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台阶仪最高垂直分辨率可达亚埃米级,且垂直方向动态比率高,可以获取表面轮廓形貌、粗糙度、波纹度、形状误差及其它一些形貌特征等综合信息。
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