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纳米级材料尺寸如何测量?

2024-07-09 10:41

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资料摘要:

基于纳米传动与扫描技术、白光干涉与高精度3D重建技术、共聚焦测量等技术积累,自主知识产权的白光干涉仪(Z向分辨率可高达0.1纳米)和共聚焦显微镜,广泛应用于半导体、3C电子、高校科研等行业领域。
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