7月9-10日，韩国计量测定协会（KASTO）一行35人莅临中图仪器参观交流，公司董事长马俊杰等人进行了热情接待。KASTO是根据韩国《计量法》第65条设立的国家计量测定协会，是韩国的计量测试机构之一，主要负责韩国计量产业发展的相关事务，在计量、测试等领域拥有非常丰富的经验。交流开始后，双方负责人先后针对各自团体的发展情况、技术创新成果、未来发展方向等进行了详细介绍，KASTO代表团负责人还对中图仪器在技术研发和市场拓展方面实现的成果给予了充分肯定。“此次访问旨在了解中国先进的测量技术，寻求与中图仪器在技术研发、市场推广、标准制定等方面的合作机会。”他表示。值得一提的是，在访问期间，韩国计量测定协会代表团还参观了中图仪器的研发中心和精密制造中心，详细了解了公司的研发创新能力、生产流程以及质量控制体系等。代表团成员对中图仪器的技术实力、现代化生产设备和严格的质量管理体系表示了赞赏，并表示对未来的合作充满了信心。代表团参观研发中心代表团参观精密制造中心“通过此次交流，我们发现了许多合作契合点，还对未来可能的合作模式进行了深入探讨。中图仪器希望通过合作进一步提升产品质量和技术水平，开拓国际市场；KASTO则希望借助中图仪器的技术优势，更好地服务于韩国企业，提升韩国制造的国际竞争力”。此次韩国计量测定协会代表团的访问，标志着中图仪器在与国际知名计量测试机构合作方面迈出了重要一步。双方一致表示，未来将继续加强交流合作，共同推动技术进步和产业发展，实现互利共赢。

在全球化的今天，经济的互联互通和共同发展已成为各国共同追求的目标。中国企业凭借技术和丰富的经验，正积极助力非洲工业化进程，以期与之共同谱写经济合作的新篇章。工业要发展，计量需先行。工业生产涉及原材料、设备、工艺、产品等诸多环节,每个环节都需要精确的计量作为支撑。精准的计量能够保证生产过程的稳定性和可靠性，以提高产品质量、降低生产成本，为工业发展奠定更加坚实的基础。中图仪器作为国内计量测试仪器厂商，积极响应国家一带一路战略走进非洲大陆，以先进计量测试技术助推非洲工业发展。在乌干达国家标准局国家计量实验室，经过一周的培训，中图仪器SJ2620指示表全自动检定仪、SJ5100高精度光栅测长机和SJ6000激光干涉仪顺利完成验收。在谈及为何选中中图仪器产品时，实验室负责人表示，“在前期网络会议中，就感受到了中图仪器的专业与专注，去年对中图仪器的实地考察，又使我们更深刻地认识到了你们深厚的产品技术实力与优秀的服务能力。再加上其他非洲用户对中图仪器的良好评价，我们才最终决定选择中图仪器的产品”。他还提及，在这一周的培训中，实验室内的工作人员也深刻感受到了中图仪器的热情、耐心与专注，并与之建立了深厚的友谊，期待将来与中图仪器能有更多的合作机会，共同促进乌干达计量测试技术的发展。不仅是乌干达，在非洲的多个国家，中图仪器也参与协助了其国家层面几何量计量标准溯源体系的建立，有力促进了非洲的工业发展，让更多当地民众享受到了工业制造带来的红利。在全球化时代，中国企业应当积极参与国际竞争。中图仪器应时而为，在加强海外市场宣传推广力度的同时不断勤修内功，以高质量为标签，产品进入海外多个工业国家，实现了院内花开，天南海北皆飘香的良好局面。

5月29日下午，国家市场监督管理总局计量司副司长刘洪彬、计量司一级调研员刘国传一行莅临深圳市中图仪器股份有限公司调研指导工作，广东省市场监督管理局计量处处长郭幸妮，深圳市市场监督管理局副局长李军、计量认证处处长郭力军，北京市计量检测科学研究院副院长张琳等有关领导专家陪同调研。中图仪器董事长马俊杰对刘洪彬副司长一行的到来表示热烈欢迎。调研组首先来到公司展厅参观，近距离了解中图仪器自主研发的三坐标测量机、闪测仪、显微形貌测量仪器、激光跟踪仪、轮廓测量仪以及螺纹测量机和测长机等先进计量检测仪器设备，马俊杰就产品性能、市场地位以及进口替代等情况向刘洪彬副司长进行了汇报讲解。在随后的座谈会上，刘洪彬副司长指出，计量工作是质量基础的重要组成部分，是支撑经济高质量发展的重要保障。中图仪器作为国内计量检测仪器行业重点企业，数十年如一日，坚持自主创新，研制的十余种尺寸测量产品补齐了国内仪器行业短板，获得了市场认可，这个成绩值得肯定。希望中图仪器能够延续良好发展态势，聚焦国家、地方重点产业，进一步加强产品开发能力，为加快发展新质生产力做出仪器设备企业应有的贡献。马俊杰表示，中图仪器将以此次调研为契机，进一步加强自主创新能力，及时响应工业制造业发展需求，研制更多先进的高性能检测仪器设备，为我国制造业的高质量发展贡献自己的力量。

在当今瞬息万变的市场环境中，精密测量技术已成为制造业企业提升产品质量、提高生产效率的关键因素。为进一步推动南阳地区光学产业发展，提升从业人员技术水平，中图仪器联合中关村e谷、南阳光电产业协会于5月23日在南阳高新区光电孵化园成功举办"精密测量检测技术培训暨供需对接会"，南阳地区多家光电行业重点企业参会。 会上，中图仪器的技术专家团队分享了精密测量领域的前沿技术和实践经验，围绕“影像产品在光学领域中的应用及测试”“非球面测量及检测技术”“显微测量在光学领域中的应用”等主题，与南阳光电企业代表展开深入沟通交流，凭借多年积累的技术实力和行业口碑，中图仪器向与会企业展示了如何通过先进的测量手段，实现产品质量的全面提升。为了方便企业近距离体验光学精密测量产品，活动特别设置了“现场测量及技术交流”环节，展出了闪测仪、光学3D表面轮廓仪以及粗糙度轮廓测量机一体机，向与会企业代表进行操作演示，并对企业的光学元件进行了精密测量。 本次活动的成功举办，标志着中图仪器与南阳光电产业协会建立了长期、紧密的合作关系。未来，双方将在技术交流、人才培养等方面展开深入合作，赋能南阳光电企业进一步掌握精密测量技术，实现“精密测量、高效检测”，不断提高生产效率和市场竞争力，加速产业升级步伐。不仅仅是光电行业，中图仪器在3C电子、半导体、航空航天、汽车制造、机械重工、精密五金、轨道交通、太阳能光伏、医疗器械等多个行业均有完善的精密尺寸测量、微观形貌测量解决方案。未来，中图仪器将持续加强与全国各地产业园区、行业协会对接交流，让精密测量技术赋能产业发展，助力企业腾飞！

Control2024德国斯图加特质量控制贸易展览会不仅规模宏大，而且专业性强，吸引了来自世界各地的专业参展商和观众。中图仪器与来自世界各地的同行们“一期一会”，共同探讨质量控制领域的最新技术和市场趋势。这不仅是一次难得的行业盛会，也是我们展示自身实力和拓展国际视野的宝贵机会。展会亮点Control2024展会围绕“质量”主题，展示全球在无接触测量、3D测量、光电子和镭射测量方面的最新技术和产品。展品范围包括质量控制系统产品、智能化质量控制系统、质量控制数据处理、光电子产品、材料测试仪器及设备等。从纳米到百米，我们的展位展示的精密几何量测仪器包括但不限于以下产品：纳米显微测量领域：为满足严格的工业测量需求而设计的白光干涉仪（Z向分辨率最高可达0.1nm）和共聚焦显微镜，快速测量微纳米三维形貌。在常规尺寸段，一键闪测仪和全自动影像仪批量测量精密轮廓尺寸。最后，在大尺寸段，耗时6年重磅推出的激光跟踪仪160米的测量范围，能解决大型、超大型工件和大型科学装置、工业母机等全域高精度空间坐标和空间姿态的测量问题。从纳米到百米的精密几何量测解决方案旨在帮助客户提高生产效率、优化质量管理流程，从而实现持续改进和增强竞争力。技术交流与合作展会期间，我们与众多行业内的专家进行了深入的技术交流。这些交流不仅加深了我们对行业趋势的理解，也为我们未来的产品开发提供了宝贵的信息。通过与参展的同行和观众的互动，我们对全球质量控制市场的需求有了更清晰的认识。一期一会，我们深知每一次的斯图加特展览会都是与全球行业精英相遇的难得机会，因此我们全力以赴，把握每一个交流与合作的瞬间，以期在质量控制技术的道路上不断前行。未来与展望精密尺寸测量仪器是工业的尺子、科学的眼睛，一定程度上决定了制造的高度和科学研究的深度。“我们18年来做过很多种仪器产品，但最成功的一款应该叫‘坚持与信念’。”从2005年成立开始，中图仪器先后研发了约十五种精密仪器，从纳米到百米，高强度研发补齐国产精密测量短板。国内市场，中图仪器在苏州、成都、天津等地设立分公司；国外市场，中图仪器已成立了北美分公司、欧洲分公司，“我和团队的终极目标是，坚持全尺寸链战略，做好‘工业的尺子和科学的眼睛’，铸就一家具有国际影响力的中国仪器公司。”马俊杰董事长表示。未来我们将继续与其他行业精英企业和专业人士进行深入交流，分享经验、探讨行业趋势，并寻求合作机会。相信通过展会，将能够加深与客户和合作伙伴的联系，拓展业务合作领域，实现共同发展。我们期待与您相会，共同探讨质量控制领域的未来发展。

科技前沿的探索与学术界的交流融合具有重要的战略意义和深远的影响。产学研合作是促进科技创新和产业发展的重要方式。通过与学术界的交流融合，可以建立起产学研合作的平台和机制，实现资源共享、优势互补，推动科技成果的共享与应用，实现产学研合作的良性循环。4月8日，中图仪器在合肥工业大学举行了“3D显微形貌的测量技术剖析”学术报告。报告内容涵盖了3D显微形貌测量技术的核心应用领域——白光干涉仪和共聚焦显微镜等技术在微纳材料、微机电、CSM摩擦磨损等元器件表面粗糙度和轮廓尺寸测量中的理论和应用。中图仪器在纳米显微测量领域，基于纳米传动与扫描技术、白光干涉与高精度3D重建技术、共聚焦测量等技术积累，自研出了具有自主知识产权的白光干涉仪（Z向分辨率最高可达0.1纳米）和共聚焦显微镜，并将其成功应用于各个领域。深圳市中图仪器股份有限公司微纳显微产品研发总监——刘见桥，深耕白光干涉仪、共聚焦显微镜等精密测量仪器的系统技术和应用技术领域，实现国产白光干涉仪和共聚焦显微镜技术指标与国际一流品牌产品的全面对标。通过与合肥工业大学的学术交流，中图仪器深入了解学术界对于3D显微形貌测量技术的最新研究成果和需求，同时分享了中图在该领域的研究成果和应用经验，为学术界提供更多实践指导和技术支持。这种双向的交流与合作，不仅有助于推动技术的进步，更有利于促进学术与产业的融合，实现科技创新的双赢局面。科技前沿的探索往往需要高水平的研发能力和创新思维。中图仪器潜心研发制造，为各行业客户提供从纳米级的微观形貌检测到百米级的大尺寸高精度测量产品和服务。我们对未来与大学的合作关系充满信心和期待。无论是共同举办学术研讨会、论坛等活动，还是开展技术转移与产业合作，我们始终相信通过双方的共同努力，可以实现合作关系的深入发展，共同推动科技创新和产业发展。

共聚焦显微镜（Confocal Microscope）和激光共聚焦显微镜（Laser Scanning Confocal Microscope）相同的工作原理和应用特性使得它们成为成像和表征样品的重要工具。但两者在细节和特性上还是存在差异。1、原理上的差别：共聚焦显微镜基于共焦原理的显微镜技术，是一种使用了透镜系统将样品的不同焦深处的光聚焦到同一焦点上。这种聚焦方式能够减少背景噪音，提高图像的清晰度和对比度。共焦显微镜通常使用白光或者非激光光源，不一定需要激光；激光共聚焦显微镜是一种特殊类型的共焦显微镜，它使用激光光源，并且通常具有更高的分辨率和灵敏度。激光共聚焦显微镜利用激光束的聚焦和散射技术，只有聚焦点处的样品表面才会发射回散射光，从而实现高分辨率的成像。所以激光共聚焦显微镜通常用于获取三维图像和进行表面粗糙度分析等应用，对于要求更高分辨率和更精细结构分析的样品有更大的优势。2、应用上的差别：共聚焦显微镜和激光共聚焦显微镜在应用上的差别主要取决于它们的成像能力、灵敏度和分辨率。共聚焦显微镜通常适用于广泛的样品类型，包括透明和不透明样品。它们可用于生命科学、材料科学、地质学等领域的成像和表征。在材料科学领域，共聚焦显微镜可用于观察材料的微观结构、表面形貌、表面缺陷等；激光共聚焦显微镜具有更高的分辨率和灵敏度，因此在需要更细微的结构分析时更为适用。如在材料科学等领域中用于高精度的三维表面形貌分析、颗粒大小测量、薄膜厚度测量等。总的来说，激光共聚焦显微镜在需要更高分辨率和更精细结构分析的应用场景中具有优势，而共聚焦显微镜则更适用于一般的成像和表征工作。然而，具体应用还是取决于测量需求和样品的特性。

国际工业制造技术及设备展览会专注于工业制造领域的展览会，旨在展示最新的制造技术、设备、工具和解决方案。吸引了来自世界各地的制造商、供应商、行业专家和观众，为他们提供了一个交流和合作的平台。3月28日-3月31日，中图仪器将在第25届ITES深圳工业展展示最新产品和技术，介绍各种质量控制技术、检测设备和仪器，确保制造产品的质量和符合标准。同时国产化全自主研发三坐标测量机将重磅亮相。第二十五届深圳国际工业制造技术及设备展览会时间：3月28日-3月31日城市：深圳展馆：深圳国际会展中心（宝安新馆）展位号：8-J03重点产品三坐标测量机具有灵活性和适用性广泛，能实现自动化和高效率的测量。它可以应对各种形状、尺寸和材料的零件测量需求，包括复杂曲面和大型工件，帮助制造商提高产品质量、生产效率和竞争力，实现持续的改进和发展。三坐标国产化具有重大意义，是发展新质生产力不容忽视、不可或缺的任务。1、提高技术自主性，降低成本。国产化推动了自主创新和技术进步。而且在本地生产和供应情况下，可以节省运输和关税等额外费用。2、多样化需求服务，响应速度快。国产制造商更了解本地市场的需求和用户的使用情况，可以提供更及时、更全面的售后服务和技术支持。国产品牌多点多地的本地化服务，响应速度快。3、推动新质生产力发展。新质生产力是创新起主导作用。面对新一轮科技和产业变革， 本地化生产的三坐标测量机会激发更多的技术创新和研发投入。促进本地相关产业链的发展，包括零部件供应商、配套服务提供商等。制造商会根据本地市场需求和行业趋势进行技术升级和创新，从而推动测量技术的发展。这有助于形成完整的产业生态系统，提高整个产业的竞争力和创新能力。中图仪器Power DMIS自主三坐标测量软件，拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议，并通过了德国PTB认证。数据中心可实现数据的本地化管理，也可按客户需求导入数据库，适用于各类企业和行业。其它明星产品ITES深圳工业展是一个很好的了解行业最新趋势、建立业务联系、进行合作和交流的平台。我们期待与您面对面更深入地交流，了解行业动态和未来发展方向。3月28日我们不见不散！

新质生产力不仅仅是生产效率和成本控制的提升，更重要的是通过创新和技术升级，从而实现生产过程智能化、个性化、和高质量化。传统的生产模式正在被颠覆，而半导体行业作为高科技产业的代表之一，更是迫切需要适应这一变革。随着半导体技术的不断发展和智能制造的推动，半导体制造过程中，对尺寸、形状和表面质量的检测至关重要。而显微测量仪的高精度、高分辨率的测量能力，为半导体行业提供了强大的支持。SuperViewW光学3D表面轮廓仪结合机械制造、计算机技术、图像出处理技术，以非接触的扫描方式，实现针对样品表面的高重复精度的3D测量，获取样品表面质量的2D、3D数据。仪器集合PSI高精度&VSI大范围双重优点的EPSI扫描算法，从0.1nm级别的超光滑表面到数十微米级别的粗糙表面，都能实现高精度测量。此外具有的同步分析与预编程分析功能，实现了分析过程的所见即所得，测量到分析的一键式操作，有效缩减操作步骤。VT6000共聚焦显微镜以针孔共聚焦技术为原理，结合高稳定性结构设计和优异的3D重建算法，可对各种精密器件及材料表面进行微纳米级粗糙度、微观几何轮廓等的测量。在半导体制造及封装工艺检测中，对大倾角产品有更好的成像效果。在芯片制造的各个环节，显微测量仪用于检测半导体芯片和晶圆的尺寸和形状，提供准确的尺寸测量，满足半导体制造过程中对尺寸、形状和表面质量更严格的要求，帮助制造商及时发现和纠正任何偏差；在表面质量的评估和缺陷检测方面，显微测量仪可以检测微小的表面缺陷和污染，确保产品的表面质量达到标准要求，提高产品的可靠性和稳定性。我们有理由相信，在新技术和新思维的推动下，显微测量仪将使半导体行业迈向更加智能化、高效化和可持续化的未来。

新质生产力是随着科技进步、生产方式变革以及知识经济的兴起，所形成的一种新型的生产力形态。在制造业产品和技术层面的新质生产力，不仅仅关注传统的生产效率和成本控制，更强调利用先进技术、数据分析、人工智能等手段，实现生产过程的智能化、灵活化、个性化和高质量化，是制造业生产力的全面提升和新的发展方式。新质生产力的核心在于提高生产效率和质量，而创新可以带来更先进、更高效、更可靠的生产工具和装备，帮助企业改善产品性能，降低生产成本，提高竞争力。中图仪器在追求新质生产力的过程中，不断创新，从纳米到百米，全自主研发高质量几何量测量仪器设备，高强度研发补齐国产精密测量短板。在纳米显微测量领域，基于纳米传动与扫描技术、白光干涉与高精度3D重建技术、共聚焦测量等技术，显微测量仪能够对微小对象进行高精度、高分辨率的测量和分析，引领精细化生产。特别在半导体制造等领域，能以0.1nm分辨率检测微小元件的尺寸、形状和表面特征，确保产品达到严格的质量标准。半导体制造·IC晶圆磨划应用在国之重器领域，“工业测量皇冠上的明珠”——GTS激光跟踪仪，历时6年之久终于问世。它集合了激光干涉测距技术、光电探测技术、精密机械技术、计算机及控制技术、现代数值计算理论等各种先进技术，实现对空间运动目标进行跟踪并实时测量目标的空间三维坐标。大型装备的稳定运行和精准控制是生产效率和质量的关键因素。而GTS激光跟踪仪可用于航空航天领域对飞机零部件及装配精度的测量，在高端制造中对运动机器人位置的精确标定，又或是在汽车制造中对车型的在线测量等大型装备的运动控制，是保障大型装备运行的智能守护者。显微测量仪和激光跟踪仪正成为各个行业实现智能制造的关键工具。通过将显微测量仪和激光跟踪仪的数据进行集成和分析，可以实现对整个生产过程的全面监控和优化，从原材料的检测到产品的装配，再到最终的质量控制，它们不仅提高了生产效率和质量，还推动了生产方式的转型升级，加速了产业结构的优化和升级。我们有理由相信，显微测量仪和激光跟踪仪在未来将为制造业带来新的生产力和竞争力。“新质生产力”不仅开启了新时代生产力的进步，更是推动经济发展和社会进步的重要引擎之一。在未来的发展中，中图仪器将继续以技术创新为发展基础，专注于精密测量检测技术的发展，为工业领域带来更高的效率、更好的质量和更强的竞争力。

2024年3月20日-3月22日，慕尼黑上海光博会汇聚了来自世界各地的光电行业专业人士、企业和观众，展示了最新的光电技术、产品和解决方案。通过展示最新的光电技术和产品，反映了光电行业的发展趋势和未来方向，为行业从业者提供了洞察行业发展的机会，帮助他们把握市场机遇，制定未来发展战略。展会回顾与亮点慕尼黑上海光博会作为亚洲光电领域的重要盛会，每年吸引了数以千计的参展商和观众。参展商来自全球各个光电领域，展示了最前沿的光电技术和产品，吸引了许多包括光电行业从业者、研究人员、学者以及相关领域的企业代表，现场充满了创新、活力和合作的气氛。展会聚焦光电领域的最新科技和创新产品，参展商们展示了各类光电元件、设备、系统以及相关解决方案，让观众能够一睹行业前沿技术的风采。作为专精特新企业，中图仪器以创新助力新质生产力，从纳米到百米，高强度研发补齐国产精密测量短板。在展会上展示了显微形貌测量、一键式光学影像测量、接触式轮廓尺寸测量、位置与运动精度测量四大主题的多种测量解决方案。SuperViewW光学3D表面轮廓仪0.1nm分辨率，微纳米三维形貌一键测量。VT6000共聚焦显微镜大倾角超清纳米测量三维形貌，对大倾角的产品有更好的测量效果。VX8000闪测仪，一键批量测量二维平面尺寸，多快好省。Novator全自动影像仪精密测量表面尺寸、轮廓、角度与位置、形位公差、3D空间形貌与尺寸结构等，飞拍功能提升5~10倍测量效率。国产全自动化三坐标测量机，控制器、测头测座、软件全自主研发，安全可控。GTS激光跟踪仪大尺寸空间测量，标定工业机器人空间绝对位置精度，提升机器人运动精度。展会交流现场，用户体验与见证行业趋势与未来展望精密几何量测仪器是光电行业的重要组成部分，随着光电技术的不断发展和应用领域的扩展，将迎来更广阔的发展空间。智能化和自动化、多功能化和多样化、高精度和高速度以及云端化和联网化，都是工业4.0和智能制造推进对精密几何量测仪器的需求倾向。未来，精密几何量测仪器将更加注重数据采集、分析和处理的智能化能力，随着云计算和物联网技术的发展，也将向云端化和联网化方向发展，以实现远程监控、数据共享和智能化分析。我们致力于提供高精度、高效率的精密几何量测仪器解决方案。从纳米到百米，我们的产品采用先进的光学和传感技术，具有高精度、高速度、多功能等特点，能够满足不同行业、不同应用场景的测量需求。近期3月28日-3月31日的ITES深圳工业展，我们将继续致力于技术创新和产品优化，与行业合作伙伴共同推动精密几何量测领域的发展，为客户提供更加优质的产品和服务。在慕尼黑上海光博会这样的国际性展会上，我们与行业专家和客户深入交流，分享了最新的技术成果和市场趋势，共同探讨了精密几何量测领域的发展方向，为行业的发展贡献我们的力量。展会期间，我们不仅与许多新客户建立了合作关系，还与现有合作伙伴深化了合作。这次展会为我们开拓了更广阔的市场，并加深了对行业发展方向的洞察。我们自豪地展示了我们公司的精密几何量测仪器，其高精度、高效率、多功能的特点引起了广泛关注。我们期待与您进一步合作，共同推动行业发展。

阳春三月，中图仪器将先后参加慕尼黑上海光博会、ITES深圳工业展，为您带来显微形貌测量、一键式光学影像测量、接触式轮廓尺寸测量、位置与运动精度测量四大主题的多种测量解决方案，国产化全自主研发三坐标测量机将重磅亮相两场展会，敬请莅临参观。第一站：上海光博会展会名称：慕尼黑上海光博会展会时间：3月20-22日展会地点：上海新国际博览中心中图展位：W4馆4337作为激光、光学、光电行业的年度盛会，慕尼黑上海光博会备受期待。本次展会，中图仪器将为您重点展出面向光电、半导体行业的光学影像测量、显微形貌测量技术和解决方案，现场还有互动游戏，精美礼品等您来领取！第二站：深圳工业展展会名称：第二十五届深圳国际工业制造技术及设备展览会展会时间：3月28-31日展会地点：深圳国际会展中心（宝安新馆）中图展位：8号馆J03第25届深圳国际工业制造技术及设备展览会围绕“高端装备·精密制造·工业技术·智能制造”的展览内容打造专业展示与高效交流平台，为观众带来沉浸感受工业创新成果与新兴产业深度融合的酣畅体验，精彩不容错过。本次展会，中图仪器将展示从核心部件到整机检测的完整测量解决方案，覆盖零部件轮廓尺寸测量以及高端装备调校与精度检测，助力制造业高质量发展。中图仪器深耕精密测量领域十数载，拥有丰富的行业测量解决方案，欢迎广大客户莅临上海光博会和深圳工业展，面对面探讨各种测量课题，我们在展会现场与您不见不散！

在晶圆制造前道过程的不同工艺阶段点，往往需要对wafer进行厚度（THK）、翘曲度（Warp）、膜厚、关键尺寸（CD）、套刻（Overlay）精度等量测，以及缺陷检测等；用于检测每一步工艺后wafer加工参数是否达到设计标准，以及缺陷阈值下限，从而进行工艺控制与良率管理。半导体前道量检测设备，要求精度高、效率高、重复性好，量检测设备一般会涉及光电探测、精密机械、电子与计算机技术，因此在半导体设备中，技术难度高。在wafer基材加工阶段，从第一代硅，第二代砷化镓到第三代也是现阶段热门的碳化硅、氮化镓衬底都是通过晶锭切片、研磨、抛光后获得，每片衬底在各工艺后及出厂前，都要对厚度、翘曲度、弯曲度、粗糙度等几何形貌参数进行系统量测，需要相应的几何形貌量测设备。下图为国内某头部碳化硅企业产品规范，无论是production wafer，research wafer，还是dummy wafer，出厂前均要对几何形貌参数进行量测，以保证同批、不同批次产品的一致性、稳定性，也能防止后序工艺由于wafer warpage过大，产生碎片、裂片的情况。中图仪器针对晶圆几何形貌量测需求，基于在精密光学测量多年的技术积累，历经数载，自研了WD4000系列无图晶圆几何量测系统，适用于线切、研磨、抛光工艺后，进行wafer厚度（THK）、整体厚度变化（TTV）、翘曲度（Warp）、弯曲度（Bow）等相关几何形貌数据测量，能够提供Thickness map、LTV map、Top map、Bottom map等几何形貌图及系列参数，有效监测wafer形貌分布变化，从而及时管控与调整生产设备的工艺参数，确保wafer生产稳定且高效。晶圆制造工艺环节复杂，前道制程所需要的量检测设备种类多、技术难度高, 因此也是所有半导体设备赛道中壁垒最高的环节。伴随半导体制程的演进，IC制造对于过程管控的要求越来越高，中图仪器持续投入开发半导体量检测设备，积极倾听客户需求，不断迭代技术，WD4000系列在诸多头部客户端都获得了良好反响!千淘万漉虽辛苦，吹尽狂沙始到金。图强铸器、精准制胜，中图仪器与中国半导体产业共同成长。

1月29日晚间，由中央广播电视总台倾力打造的“创新引领新型工业化2023专精特新·制造强国年度盛典”在央视CCTV2重磅播出，深圳市中图仪器股份有限公司（以下简称“中图仪器”）马俊杰先生荣膺“专精特新·年度高人”奖项。本次盛典为央视财经频道“专精特新·制造强国”大型融媒体活动的收官之作。据悉，自去年7月启动以来，央视财经节目中心共跨越了5省28座城市，走访了400多家企业，以“专精特新·绝活”和“专精特新·高人”为主题，共推出了上百期典型案例报道。早在2023年12月6日晚间，中图仪器便作为经济信息联播节目“专精特新·高人”系列的一份子，亮相于央视财经频道。小公司大布局，18年全自主打磨硬核科技尺中图仪器的频频获选，归因于其数十年来坚持的国产替代道路。中图仪器所在的细分领域为几何量测量行业。几何量是描述物体的尺寸、形状和位置等几何特征的量，是现代工业品质控制和科学研究的基本对象，因此用于此类测量的几何量测量仪器设备用途极为广泛，种类也十分多样，几乎遍及所有实体产业链的上下游。但是，相关仪器研发技术难度巨大，客户又忠于品牌，长久以来，国内高端市场基本上被欧洲、美国、日本的厂商占据。公司创始人马俊杰毕业于清华大学精密仪器专业，曾长期就职于深圳市计量质量检测研究院。彼时，在发现研究所实验室里的精密仪器全都来自于国外后，他便产生了创业做国产几何测量仪的想法，替代进口也顺理成章地成为了后来中图仪器刻在骨子里的基因。近20年来，始终如此。“我们18年来做过很多种仪器产品，但最成功的一款应该叫‘坚持与信念’。精密尺寸测量仪器形象点说就是‘工业的尺子、科学的眼睛’，它们的应用范围特别广，一定程度上决定了制造的高度和科学研究的深度。这个细分领域有二十多种经典仪器，涉及的光、机、电、软件等技术和工艺难度非常大，所需的资金投入也非常多，国内高端市场基本被国外厂商垄断，在航空和半导体等领域更是如此，我们一直希望能改变这个落后局面。但对于一家中小民营企业来说，要研发这么多种仪器基本上是天方夜谭，因为即使是业内的国际巨头，也是通过并购快速开疆拓土的”。即便如此，在替代进口的强烈使命感之下，中图仪器依然选择了最难的一条路——从纳米到百米，全自主研发。这也让身为民营企业的中图仪器屡次陷入资金的困境。马俊杰曾表示，成立18年来，中图仪器多数年度的研发费用率均超过了30%，公司在大部分时间里，其实都是“勒紧裤腰带做研发”，直到2021年公司被评为专精特新小巨人后，才彻底打通了资金渠道，开始全面布局发展。“中图仪器是一个崇尚分享文化的公司，历史上进行了数次股权激励，不断吸引优秀人才加盟，因此员工身上都有股务实、奋斗的冲劲儿。从2005年成立开始，在资金紧张的情况下，先后研发了约十五种精密仪器，研发难度最大的激光跟踪仪历时6年之久，甚至屡次因为资金问题想要放弃，但大家最终还是坚持了下来。所以，这个奖不止属于我，更属于中图仪器18年来兢兢业业奋斗在一线的团队成员们。真正的高人，是在公司持续艰苦奋斗的骨干。”马俊杰表示。从纳米到百米，高强度研发补齐国产精密测量短板轻舟已过万重山。截至目前，中图仪器已经成功开发了15种重点仪器，其中约10种率先实现了真正意义上的国产替代，在与国外友商同台竞技的同时大幅降低了客户的采购成本，形成了“小公司大布局，全面对标国际巨头”的奇特局面，逐步得到了广大客户的赞许和业界的认可。在纳米显微测量领域，基于纳米传动与扫描技术、白光干涉与高精度3D重建技术、共聚焦测量等技术积累，中图仪器参与了多项国家重大科研项目的攻关工作并顺利通过验收，推出了具有自主知识产权的白光干涉仪（Z向分辨率最高可达0.1纳米）和共聚焦显微镜，广泛应用于半导体、3C电子、高校科研等行业领域，打破了国外产品垄断。在常规尺寸段，公司明星产品螺纹机（国家科技部重大研发专项）率先完成了国内螺纹测量仪器从0到1的突破。“在我们的螺纹机出来之后，欧洲外商的价格被倒逼下降了40%~50%。以前国内计量机构买不起，到现在成为计量和军工企业计量站标配设备，新的螺纹检测手段得到普及”。最后，在大尺寸段，中图仪器更是作为国家工信部“重大研发计划”牵头承研单位，耗时6年重磅推出了具有自主知识产权、达到国际先进水平的“工业测量皇冠上的明珠”——激光跟踪仪，填补了国内空白，打破了飞机制造等关键工艺环节只能依赖“洋仪器”的僵局。“如今，我们约有20000台（套）仪器在客户端运行，不仅占据了国内市场的部分份额，还卖到了全球30多个国家。我们的螺纹机等甚至交付到了泰国、南非的国家计量院，成为了他们的溯源基准。在微小尺寸段，我们的白光干涉仪、共聚焦显微镜能和美国、日本友商分庭抗礼，目前已经在清华、士兰微等客户群体中得以应用；在中间尺寸段，我们的三坐标、影像仪已经在3C行业得到广泛应用，三坐标更是实现了四大核心部件的全国产化；在大尺寸段，我们历时6年开发的激光跟踪仪，国内率先形成量产，在市场上已经能和美国、欧洲的国际友商同台竞技，目前也收获了成飞、商飞等重要客户”。“我坚信，中国几何量仪器将赢得全球科学和制造业的信赖！我非常感谢中图团队一起走过这艰苦的18年。我和团队的终极目标是，坚持全尺寸链战略，做好‘工业的尺子和科学的眼睛’，铸就一家具有国际影响力的中国仪器公司。”马俊杰表示。

1月29日晚间，由中央广播电视总台倾力打造的“创新引领新型工业化2023专精特新·制造强国年度盛典”在央视CCTV2重磅播出，深圳市中图仪器股份有限公司（以下简称“中图仪器”）马俊杰先生荣膺“专精特新·年度高人”奖项。本次盛典为央视财经频道“专精特新·制造强国”大型融媒体活动的收官之作。据悉，自去年7月启动以来，央视财经节目中心共跨越了5省28座城市，走访了400多家企业，以“专精特新·绝活”和“专精特新·高人”为主题，共推出了上百期典型案例报道。早在2023年12月6日晚间，中图仪器便作为经济信息联播节目“专精特新·高人”系列的一份子，亮相于央视财经频道。小公司大布局，18年全自主打磨硬核科技尺中图仪器的频频获选，归因于其数十年来坚持的国产替代道路。中图仪器所在的细分领域为几何量测量行业。几何量是描述物体的尺寸、形状和位置等几何特征的量，是现代工业品质控制和科学研究的基本对象，因此用于此类测量的几何量测量仪器设备用途极为广泛，种类也十分多样，几乎遍及所有实体产业链的上下游。但是，相关仪器研发技术难度巨大，客户又忠于品牌，长久以来，国内高端市场基本上被欧洲、美国、日本的厂商占据。公司创始人马俊杰毕业于清华大学精密仪器专业，曾长期就职于深圳市计量质量检测研究院。彼时，在发现研究所实验室里的精密仪器全都来自于国外后，他便产生了创业做国产几何测量仪的想法，替代进口也顺理成章地成为了后来中图仪器刻在骨子里的基因。近20年来，始终如此。“我们18年来做过很多种仪器产品，但最成功的一款应该叫‘坚持与信念’。精密尺寸测量仪器形象点说就是‘工业的尺子、科学的眼睛’，它们的应用范围特别广，一定程度上决定了制造的高度和科学研究的深度。这个细分领域有二十多种经典仪器，涉及的光、机、电、软件等技术和工艺难度非常大，所需的资金投入也非常多，国内高端市场基本被国外厂商垄断，在航空和半导体等领域更是如此，我们一直希望能改变这个落后局面。但对于一家中小民营企业来说，要研发这么多种仪器基本上是天方夜谭，因为即使是业内的国际巨头，也是通过并购快速开疆拓土的”。即便如此，在替代进口的强烈使命感之下，中图仪器依然选择了最难的一条路——从纳米到百米，全自主研发。这也让身为民营企业的中图仪器屡次陷入资金的困境。马俊杰曾表示，成立18年来，中图仪器多数年度的研发费用率均超过了30%，公司在大部分时间里，其实都是“勒紧裤腰带做研发”，直到2021年公司被评为专精特新小巨人后，才彻底打通了资金渠道，开始全面布局发展。“中图仪器是一个崇尚分享文化的公司，历史上进行了数次股权激励，不断吸引优秀人才加盟，因此员工身上都有股务实、奋斗的冲劲儿。从2005年成立开始，在资金紧张的情况下，先后研发了约十五种精密仪器，研发难度最大的激光跟踪仪历时6年之久，甚至屡次因为资金问题想要放弃，但大家最终还是坚持了下来。所以，这个奖不止属于我，更属于中图仪器18年来兢兢业业奋斗在一线的团队成员们。真正的高人，是在公司持续艰苦奋斗的骨干。”马俊杰表示。从纳米到百米，高强度研发补齐国产精密测量短板轻舟已过万重山。截至目前，中图仪器已经成功开发了15种重点仪器，其中约10种率先实现了真正意义上的国产替代，在与国外友商同台竞技的同时大幅降低了客户的采购成本，形成了“小公司大布局，全面对标国际巨头”的奇特局面，逐步得到了广大客户的赞许和业界的认可。在纳米显微测量领域，基于纳米传动与扫描技术、白光干涉与高精度3D重建技术、共聚焦测量等技术积累，中图仪器参与了多项国家重大科研项目的攻关工作并顺利通过验收，推出了具有自主知识产权的白光干涉仪（Z向分辨率最高可达0.1纳米）和共聚焦显微镜，广泛应用于半导体、3C电子、高校科研等行业领域，打破了国外产品垄断。在常规尺寸段，公司明星产品螺纹机（国家科技部重大研发专项）率先完成了国内螺纹测量仪器从0到1的突破。“在我们的螺纹机出来之后，欧洲外商的价格被倒逼下降了40%~50%。以前国内计量机构买不起，到现在成为计量和军工企业计量站标配设备，新的螺纹检测手段得到普及”。最后，在大尺寸段，中图仪器更是作为国家工信部“重大研发计划”牵头承研单位，耗时6年重磅推出了具有自主知识产权、达到国际先进水平的“工业测量皇冠上的明珠”——激光跟踪仪，填补了国内空白，打破了飞机制造等关键工艺环节只能依赖“洋仪器”的僵局。“如今，我们约有20000台（套）仪器在客户端运行，不仅占据了国内市场的部分份额，还卖到了全球30多个国家。我们的螺纹机等甚至交付到了泰国、南非的国家计量院，成为了他们的溯源基准。在微小尺寸段，我们的白光干涉仪、共聚焦显微镜能和美国、日本友商分庭抗礼，目前已经在清华、士兰微等客户群体中得以应用；在中间尺寸段，我们的三坐标、影像仪已经在3C行业得到广泛应用，三坐标更是实现了四大核心部件的全国产化；在大尺寸段，我们历时6年开发的激光跟踪仪，国内率先形成量产，在市场上已经能和美国、欧洲的国际友商同台竞技，目前也收获了成飞、商飞等重要客户”。“我坚信，中国几何量仪器将赢得全球科学和制造业的信赖！我非常感谢中图团队一起走过这艰苦的18年。我和团队的终极目标是，坚持全尺寸链战略，做好‘工业的尺子和科学的眼睛’，铸就一家具有国际影响力的中国仪器公司。”马俊杰表示。

12月6日晚间，央视财经频道《经济信息联播》栏目“专精特新 制造强国”系列节目报道深圳市中图仪器股份有限公司。本期专精特新·高人：18年用心打磨15把硬核科技“尺”，从纳米到百米，从接触式到非接触式。铸光为尺，见微知著，不断拓展工业测量领域全尺寸链条。几何尺寸测量的精度，直接决定了工业制造的高度。不论小如芯片，还是大如飞机，精密测量仪器，就像量体裁衣时裁缝的尺子。深圳一家专精特新企业里有一位高人，研发出了能测量从1纳米到1百米的工业“尺子”。马俊杰从业18年来，虽然只做了15台测量仪，但每一台都独具特色。其中测量最快的一台，叫闪测仪。深圳中图仪器股份有限公司董事长 马俊杰：我手上拿的就是手机上一块精密的结构件，几秒测量，几百个尺寸直接显示出来，而且达到了微米级的精度。马俊杰毕业于清华大学精密仪器专业，后在研究所工作期间，他发现实验室里的精密仪器全都来自国外，这让他产生了创业做国产几何测量仪的想法。这台指示表检测仪，是马俊杰当年研发出的第一款精密测量仪器。但这些都还不是精度最高的“尺子”。这枚看似光滑的晶圆，放在显微测量仪下，表面变得错落有致起来，经过测量，高度差仅有6.1纳米。但它还将被切割成更小的方块，才能使用。深圳中图仪器股份有限公司董事长 马俊杰：这台仪器它的精度非常高，达到了0.1纳米的分辨率，半导体领域已经大量使用。这家企业的测量绝活可不止于微小领域。马俊杰的团队潜心研究6年，研发出可测百米尺寸的激光跟踪仪，解决了大型、超大型工件或装置的高精度测量问题。深圳中图仪器股份有限公司副总经理 张和君：这是一架飞机模型，关键部件测量精度必须控制在0.1毫米至0.2毫米之间，飞机的装配才能保证严丝合缝。激光跟踪仪是唯一同时具有微米级别测量精度，和百米工作空间的高性能光电仪器。

第39届亚太计量规划组织全体大会（简称APMP大会）于11月27日在深圳隆重召开。11月28日下午，来自马来西亚、泰国、越南、澳大利亚、新西兰、韩国、印度，印度尼西亚等多个国家的计量专家学者莅临中图仪器参观指导，近距离感受中国制造精密计量检测仪器的魅力。亚太计量规划组织 (APMP) 是亚太地区的计量合作组织，是国际计量委员会认可的全球六个区域计量组织之一。截止至2023年2月，APMP共有来自27个经济体的45个正式成员机构和来自13个经济体的14个附属成员机构。APMP大会既是亚太计量界的盛会，也是具有较高影响力的国际性计量活动。在会议室里，来访的专家学者首先听取了中图关于发展历史、产品线、技术优势、未来发展规划以及全球市场拓展等方面的介绍，随后又重点考察了计量明星产品——螺纹综合测量机。SJ5200系列螺纹综合测量机能够对各类螺纹环规、塞规实现综合参数全自动测量。来访专家学者对产品精度、性能和可操作性表示了充分赞赏与认可，期待日后双方在螺纹计量领域内有更多合作与交流。在公司展厅，来访的专家学者详细考察了中图仪器微纳米显微测量、常规尺寸测量及大尺寸测量全系列产品，与工作人员深入交流探讨，对中图仪器能够提供从纳米到百米完整尺寸链解决方案表示赞赏，期待更多中图仪器产品进入本国，服务当地制造业发展。中图仪器产品目前已在全球六大洲30多个工业国家稳定运行，尤其在一些后发工业国家，中图仪器参与协助建立了国家层面的几何量计量标准溯源体系，有力促进了第三世界工业发展，让全球更多民众享受工业制造红利，此次来访加深了亚太计量规划组织成员单位对中图仪器的了解，有利于后续更广泛深入的合作与交流。中图仪器致力于成为全球性精密尺寸测量仪器企业，服务全球客户，在加强海外市场宣传推广力度的同时不断勤修内功，以高质量为标签，服务全球制造业高效发展，实现了院内开花，天南海北皆飘香的良好局面。

激光跟踪测量系统是高精度、便携式的空间大尺寸坐标测量机，是同时具高精度（μm级）、大工作空间（百米级）的高性能光电测量仪器，被广泛应用在飞机、汽车、船舶、航天、机器人、核电、轨道交通等高端装备制造行业以及大型科学工程、工业母机的高精密加工和装配中，已成为多个行业的习惯和测量标准。激光跟踪仪能够解决大型、超大型工件和大型科学装置、工业母机等全域高精度空间坐标和空间姿态的测量问题。中图仪器GTS激光跟踪测量系统已经发展出三自由度激光跟踪仪和六自由度激光跟踪仪家族系列，可以和多种形式的合作目标测头配合使用：1、GTS3000激光跟踪仪与光学回射靶球配合组成三自由度激光跟踪仪，能对大尺度空间内的点、线、面、曲面等几何特征进行精确测量；2、GTS6000激光跟踪仪与空间姿态探头配合组成六自由度激光跟踪仪，能够根据合作目标的精确空间姿态对被测工件的内部特征、隐藏特征或曲面等复杂特征进行快速、高精度的测量。（1）机器视觉和重力对齐的传感融合技术测量空间姿态。（2）可以测量孔、洞等内部特征、隐藏特征的几何结构。（3）双探头设计，对复杂特征测量时更加高效。（4）无线传输，简易随行。（1）姿态传感器自动跟随锁定激光束，测量灵活性高。（2）俯仰角和偏航角不受光学回射器接收角度的限制。（3）简易接口连接，便于安装在机床或机器人上，重复性高、精度高。（4）专用波段激光束和滤光设计，对环境光不敏感。（5）最高采样速度200点/秒。

在汽车制造领域中，3D测量仪可以满足各种不同的测量需求，被广泛应用于各种零部件和整车的测量、检测及质量控制，为汽车制造的质量控制和精度提高提供了重要的保障。在汽车设计阶段，3D测量仪可以精确测量车身、引擎盖、车门等零部件的尺寸和形状。这可以减少设计和制造过程中的误差，提高汽车的外观质量和性能；在汽车零部件的加工过程中，传统加工往往是依靠人工进行尺寸测量和零件调整，而3D测量仪可以实现自动化测量和高效调整，提高加工的准确性和效率，同时检测加工过程中的质量控制，确保零部件质量达标。汽车制造领域中有哪些需要用到的3D测量仪？首先，三坐标测量机作为汽车制造领域中最常用的测量设备之一，它可以在三维空间对汽车零部件的尺寸、形状、位置和轮廓等进行高精度的测量。不管是简单的零部件尺寸检测，还是复杂的整车装配精度检测，三坐标测量机都能以精细的工作方式，严格控制产品质量。发动机检测激光跟踪仪是一种高精度的测量设备，它可以对汽车车身和零部件进行快速、准确的测量，常用于汽车车身和底盘的装配精度检测。它是通过跟踪激光束的反射和传播来测量物体的位置和姿态。其精确性和灵活性使得它在车身和底盘的装配精度检测中发挥着重要的作用，为车辆的稳定性和性能提供可靠的保障。汽车车身、底盘测量除了在设计和加工过程中的应用，3D测量仪还可以在汽车质量检测和故障诊断中发挥重要的作用。在质量检测中，3D测量仪可以对整车或零部件进行全面的测量和分析，检测出存在的问题以及潜在的质量隐患。而在故障诊断中，3D测量仪可以对车辆各个部件进行非接触式测量，快速定位故障点，提高故障诊断的准确性和效率。如EyeScan跟踪式激光扫描系统，采用视觉动态跟踪测量技术，可实时跟踪定位扫描头的空间位置，无需贴点即可完成高精度动态三维测量，可满足质量控制、产品开发、逆向工程、自动化测量等多样需求。在汽车制造领域，助力产品开发、优化设计、生产制造、检测等。这些3D测量仪器在汽车制造领域中发挥着重要的作用，它们可以满足各种不同的测量需求，为汽车制造的质量控制和精度提高提供了重要的保障。

“小身材，大作用”——一个简单的比喻，恰当地总结了中图仪器新上线的SuperView WM100光学3D表面轮廓仪的特点，作为业内精密微纳测量仪器制造商，中图仪器不断地丰富旗下的显微测量产品序列，在基于对SuperView W1机型的深入研究基础上，新推出的mini型光学3D表面轮廓仪SuperView WM100，以回应市场对小型化、便携式光学3D表面轮廓仪的需求。图.WM100光学3D表面轮廓仪轻便的机身，简约的设计——没有控制箱、无须隔震台，如图所见，即是全部。SuperView WM100型光学3D表面轮廓仪采用了新的设计方法，内置了控制系统和隔振模块，整机仅由一台轻便的仪器主机和笔记本电脑组成，完成了从“重量级”到“轻量化”的转变，却又能够适应从嘈杂的车间到安静的检测室等各种应用环境，成功地将具有0.1nm纵向分辨率的光学检测仪器打造成了可以快速而便捷地走进客户应用现场的利器，开了亚纳米级检测仪器“上车即走，上桌即用”的新局面，让客户足不出户却又能现场体验这款高精度检测仪器的强大性能。简约而不简单，SuperView WM100型光学3D表面轮廓仪，有着不逊色于其前辈SuperView W1的测量稳定性，在能代表仪器性能的粗糙度RMS重复性和台阶高测量重复性上达到优于0.008nm和0.1%的技术指标。同时电动化的运动轴设计让仪器在客户现场演示时能够展现所有的自动化功能，满足客户的测量需求，完好地呈现中图仪器在纳米检测领域的技术实力。借助中图仪器遍布全国的销售网络和技术服务网点，SuperView WM100型光学3D表面轮廓仪会坐上快专车，以迅捷的速度赶赴客户现场展现3D显微测量的奥秘。