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PVA-TePla微波等离子体去胶机（整机进口），性能稳定，去胶均匀。
典型应用：
去除光刻胶 Photo-resist stripping
去除残胶 Wafer descum
晶圆和衬底的清洁 Wafer and substrate cleaning
su-8灰化 Su-8 ashing
氮化硅、聚酰亚胺等的刻蚀 Etching of silicon nitride, pi, etc.
刻蚀钝化层 Etching of passivation layers
逆向分析/失效分析中的器件开封 Device decapsulation for failure analysis
微量分析中低温材料灰化 low temperature ashing of materials for chemical trace analysis
过滤器和薄膜的清洁 Cleaning of filters and membranes
规格参数：
2.45GHz风冷微波电源（0～600w可调），
石英或陶瓷腔体，
防腐蚀不锈钢MFC,
多至6路气体，
兼容8英寸及以下晶圆
PC 工控机控制，运行数据自动存储；分级控制权限，防止操作
图形化触控屏界面，运行状态图形化实时显示。
自动/手动随意切换
可选配法拉第桶
可选配温控系统
可选配压力控制系统
外形尺寸：775×749×781 mm
认证：
CE 认证
EN 61010
EN 61326
Semi E95
ISO 9001
IoN Wave 10 等离子体去胶机是PVA TePla 在微波等离子体处理工艺中的新产品。该批次式晶圆灰化设备成本低廉、尺寸适用、性能先进。
IoN Wave 10 使用新的、性能出色的组件和软件，可对工艺参数进行精确控制。其工艺监测和数据采集软件可实现最严格的质量控制。
IoN Wave 10 占地面积小，安装维护简单。依靠微波等离子体技术，该设备在提供极高的光刻胶灰化速度的同时，降低了产品暴露在静电中风险。
企业名称
北京哲勤科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
911103027513428451
成立日期
2003-06-02
注册资本
500万
经营范围
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；电子真空器件销售；泵及真空设备销售；气体、液体分离及纯净设备销售；电子元器件零售；电子专用设备销售；阀门和旋塞销售；电子元器件与机电组件设备销售；实验分析仪器销售；电力电子元器件销售；电工器材销售；气体压缩机械销售；导航、测绘、气象及海洋专用仪器销售；专业设计服务；机械设备研发；软件开发；工业设计服务；标准化服务；特种陶瓷制品销售；电子专用材料销售；电机及其控制系统研发；电气设备修理；半导体照明器件销售；通用设备修理；半导体器件专用设备销售；机械电气设备销售；电子测量仪器销售；光电子器件销售；玻璃仪器销售；计算机软硬件及辅助设备零售；信息技术咨询服务；计量技术服务；软件外包服务；信息系统集成服务；新材料技术推广服务；货物进出口；进出口代理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）（不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
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