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核心参数
仪器种类： 进口等离子清洗器
射频频率： 13.56MHz
功率： 600
设备尺寸： 330*229*483
样品腔容积： 40
样品腔材质： 铝/不锈钢/石英/陶瓷
工作气体： 6
控制方式： 自动
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PVA TePla 射频等离子体去胶机
——PVA TePla 跨国型企业，50年等离子体设备经验
PVA-TePla 射频等离子体去胶机（整机进口），性能稳定，均匀性好。
PVA TePla 公司的IoN 40 等离子体设备是为实验室和生产领域设计的全功能的等离子体处理设备。
IoN 40等离子体设备是PVA TePla公司推出的具有高性价比的真空等离子体设备。该设备外观简洁，系统高度集成化。其先进的性能提供了出色的工业控制、失效报警系统和数据采集软件。可满足科研、生产等领域严格的控制要求。
PVA TePla公司的高品质、高性价比、操作简单的等离子体设备为各种不同应用领域提供了先进的创新解决方案，得到用户的广泛信赖。
型号：IoN 40 ( M4L 升级版 )
典型应用：
光刻胶灰化
去除残胶
打底膜
表面精密清洁
去除氧化层
去除氮化层
表面活化
提高表面粘合性
改变表面亲水性/疏水性
分子接枝
涂层
规格参数：
阳极表面处理铝制腔体，
水平抽卸极板/垂直极板/侧壁极板/水冷极板
13.56MHz 风冷微波电源（0～600w可调,可选配0～300W，0～1000W），
高灵敏快速自动匹配
水平抽卸极板/水冷极板/垂直极板/料盒极板
不锈钢防腐蚀MFC，
多至6路工艺气体，
两路辅助气路：回填保护气体，驱动气路
兼容8英寸及以下晶圆
模块化设计，维护保养简单
PC工控机控制，运行数据自动存储，工艺数据严格监控，可自定义工艺警报范围
分级密码权限管理
图形化可视控制界面
外形尺寸：775×723×781 mm
重量：157KG
可选配置：
石英腔体
液态单体操作装置
可选配温控板
可选配法拉第桶
可选配压力控制系统
认证：
CE 认证
EN 61010
EN 61326
Semi E95
ISO 9001
CISPR 55011
NFPA79
NFPA70
企业名称
北京哲勤科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
911103027513428451
成立日期
2003-06-02
注册资本
500万
经营范围
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；电子真空器件销售；泵及真空设备销售；气体、液体分离及纯净设备销售；电子元器件零售；电子专用设备销售；阀门和旋塞销售；电子元器件与机电组件设备销售；实验分析仪器销售；电力电子元器件销售；电工器材销售；气体压缩机械销售；导航、测绘、气象及海洋专用仪器销售；专业设计服务；机械设备研发；软件开发；工业设计服务；标准化服务；特种陶瓷制品销售；电子专用材料销售；电机及其控制系统研发；电气设备修理；半导体照明器件销售；通用设备修理；半导体器件专用设备销售；机械电气设备销售；电子测量仪器销售；光电子器件销售；玻璃仪器销售；计算机软硬件及辅助设备零售；信息技术咨询服务；计量技术服务；软件外包服务；信息系统集成服务；新材料技术推广服务；货物进出口；进出口代理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）（不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
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