KLA公司Alpha-Step D-600探针式轮廓仪/台阶仪

探针式轮廓仪/台阶仪/Alpha-Step D-600 Stylus Profiler

Alpha-Step D-600探针式轮廓仪也叫台阶仪，能够测量从几纳米到1200微米的台阶高度测量，可选配三维测量功能。D-600型台阶仪还可以在研发与生产环境中支持粗糙度、翘曲度与薄膜应力的测量，配置200mm自动移动样品台与先进的弧形矫正的辅助光学系统。 

产品描述

Alpha-Step D-600探针式轮廓仪支持台阶高度和粗糙度的二维与三维测量，以及翘曲度和薄膜应力的测量。创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大范围测量与超微力测量于一体的功能。

探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量，与材料特性无关。可调节的探针压力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确测量。通过测量粗糙度和应力，可以对工艺进行量化，确定添加或去除的材料量，以及结构的任何变化。

主要功能

· 台阶高度：几纳米至1200μm

· 低触力：0.03至15mg

· 视频：500万像素高分辨率彩色摄像头

· 梯形失真校正：消除侧视光学系统引起的失真

· 圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差

· 紧凑尺寸：占地面积小

· 软件：用户友好的软件界面

主要应用

· 台阶高度：2D台阶高度与3D台阶高度

· 纹理：2D粗糙度和波纹度

· 形式：2D翘曲和形状

· 应力：2D薄膜应力

工业应用

· 大学，研究实验室和研究所

· 半导体和复合半导体

· SIMS：二次离子质谱

· LED：发光二极管

· 太阳能

· MEMS：微电子机械系统

· 汽车

· 医疗设备

· 更多应用：请与我们联系并探讨您的需求