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核心参数
操作类型: 手动
可测圆片尺寸: 2/4/6/8
室温永磁铁探针台为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,外接不同的测量仪器,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。另外,可用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要的霍尔参数。在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。
PSPM系列室温永磁体探针台是一款专门针对室温垂直磁场电测环境开发的探针台,提供0.5T垂直磁场,能够对2寸、4寸、6寸、8寸晶圆片进行重复性的、标准的电学实验,外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量、RF测量和霍尔测量。
特点• 样品座可以放置8英寸的晶圆样品,通过移动样品座下面的滑台,可以实现X-Y轴±100mm的移动行程,并且样品座本身可以进行三维上的精细调节,使得样品测试和换样更加便捷。• 探针臂底座采用磁铁吸附固定,可使探针在X-Y-Z三个维度上进行调节,配合样品座位移调节,可满足探针快速扎到8英寸样品的任意位置• 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头,漏电性小,漏电流在100fA以内,探针臂内置线缆,避免杂乱的走线• 探针采用针套固定,只有针尖裸露在外,减小漏电• 永磁铁采用电动控制,可以实现前进后退翻转运动• 永磁铁支架与探针台采用分体隔离支架,在磁体运动时避免振动传导到样品上• 样品固定方式采用多孔分区吸附,有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道,可吸附固定1mm*1mm样品
型号分类:
参数和指标:
企业名称
上海柯舜科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91310116677884151J
成立日期
2008-08-07
注册资本
人民币500.0000万元整
经营范围
一般项目:仪器仪表制造(仅组装);仪器仪表、电子数码产品、计算机、软件及辅助设备、玻璃制品、电气设备、压缩机及配件、机械设备、机电设备、五金交电、电子元器件、轴承及配件、制冷设备销售;机电设备维护保养;自有设备租赁;从事仪器仪表科技专业领域内技术开发、技术咨询、技术服务.(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
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