室温永磁铁探针台

室温永磁铁探针台为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，外接不同的测量仪器，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。另外，可用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要的霍尔参数。在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。

  PSPM系列室温永磁体探针台是一款专门针对室温垂直磁场电测环境开发的探针台，提供0.5T垂直磁场，能够对2寸、4寸、6寸、8寸晶圆片进行重复性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量、RF测量和霍尔测量。

特点
• 样品座可以放置8英寸的晶圆样品，通过移动样品座下面的滑台，可以实现X-Y轴±100mm的移动行程，并且样品座本身可以进行三维上的精细调节，使得样品测试和换样更加便捷。
• 探针臂底座采用磁铁吸附固定，可使探针在X-Y-Z三个维度上进行调节，配合样品座位移调节，可满足探针快速扎到8英寸样品的任意位置
• 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电性小，漏电流在100fA以内，探针臂内置线缆，避免杂乱的走线
• 探针采用针套固定，只有针尖裸露在外，减小漏电
• 永磁铁采用电动控制，可以实现前进后退翻转运动
• 永磁铁支架与探针台采用分体隔离支架，在磁体运动时避免振动传导到样品上
• 样品固定方式采用多孔分区吸附，有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道，可吸附固定1mm*1mm样品

型号分类：

参数和指标：