分子泵

Agilent TwisTorr 技术

— 抽气效应所需要的动量来自于转子盘，这些动量被传递给气体分子

— 气体分子被迫沿着定子盘上的螺旋通道运动。通道的特殊设计能够确保局部抽速恒定并避免反向压力梯度，以大程度降低功耗

向心抽气作用

转子盘的下表面区域能够将动量传递给气体分子。

位于 TwisTorr 定子盘上表面的螺旋通道产生向心抽气作用。

离心抽气作用

转子盘的上表面区域能够将动量传递给气体分子。

好的性能

— TwisTorr 泵能够对所有气体提供同级别产品中的抽速

— 先进的 TwisTorr 技术还可在市售涡轮分子泵中实现轻质气体的高压缩比

— 在达到高性能的同时，新型拖动级的设计与之前的设计相比，平均功耗将降低至四分之一

节省空间的设计

— 我们的转子采用经过验证的安捷伦一体式转子设计，在这种设计中，TwisTorr 定子盘置于两片平滑的转子盘中间，因此能够通过两个串联的转子
盘表面实现抽气作用

— TwisTorr 定子盘的双面螺旋通道设计将向心和离心抽气作用进行串联，大大减小了拖动级的尺寸

压缩比

— 与尺寸及转速相同的 MacroTorr 拖动级相比，单TwisTorr 级的 N2 压缩比多提高了 100 倍，且不会降低前级耐压和抽速