核心参数
产地类别: 国产
Exploiter E200P原子层沉积系统(粉末颗粒包裹反应腔)是原速科技自主开发的新一代智能化ALD研发系统,可在平面衬底、粉末颗粒表面、高深宽比结构及其他复杂三维结构上沉积薄膜。原子层沉积系统 E200P广泛适用于纳米材料、微机电系统、催化剂、生物膜材料及光电材料等领域,其特点在于:
双反应腔:Φ200mm + 粉末颗粒包裹腔
6路进气口:3路前驱体源 + 3路反应气源
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地址:深圳市宝安区新安街道兴东社区优创空间1号楼511-513
41776 Fremont Blvd, Fremont CA 94538, USA
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企业名称
深圳市原速科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91440300MA5EPL0E7B
成立日期
2017-08-25
注册资本
172.3177
经营范围
原速科技是一家新型薄膜材料研发商,集新型材料的研发、生产、销售于一体,主要从事于前沿领域新型薄膜材料、工艺和设备研发的高科技公司;致力于新型薄膜材料在光电领域的使用。
深圳市原速科技有限公司
公司地址
深圳市宝安区西乡街道蚝业社区大铲湾蓝色未来科技 园二期2栋1层
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