提高扫描电镜分辨力的路径和方式

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提高扫描电镜分辨力的路径和方式，下面泽攸科技小编为您介绍提高扫描电镜的分辨力，主要有两条渠道:首先是解决照明源，只有在入射束流密度足够高的情况下，才能进一步缩小入射束斑，入射束斑足够小，分辨力才能高；其次是尽量提高成像信息的收集效率和探测器的转换灵敏度，接收到的成像信息量越多，图像的信噪比和清晰度也就可以进一步得到改善，又可以返回来进一步减小束斑，从而图像的分辨力也就越高。目前，为提高电镜图像的分辨力，常采用的途径和方式有下列几种。

（1）利用高亮度的场发射电子枪来作电子源的阴极以提高束流密度，从而提高亮度。

（2）缩短工作距离，既可以相对增大信号量、提高信噪比，又可以减小像差，也就是把试样尽量移近物镜极靴，这类似于光学显微镜中的短焦距“浸没透镜”方式。物镜的极靴区是获得高分辨图像的有效部位但由于该处的空间很小，一般只有毫米级的试样才能进得去，而且试样的移动范围很小，操作起来要格外小心，否则容易“四处碰壁”。这种模式由于焦距短，束斑受外界的影响小，像差也小，且能进入到该区域的试样座也要小，小样品台的稳定性相对会比较好，所以在该区域拍摄的照片，其图像分辨力能得到明显提高。

(3)采用透镜内(In-lens)探测器或安装在物镜上方的探测器(TLD-SED)，都能明显改善低加速电压和短工作距离时的图像信噪比和分辨力。在WD较小时，不仅可以减小物镜球差和消除传统E-T探测器前端栅网上加速电位带来的影响，而且它接收到的几乎都是在入射束照射下直接产生的二次电子，排除了背散射电子等其他信号所产生的次生或间接的二次电子，因而有助于提高图像分辨力。

(4)使用强磁透镜，这是在透射电镜中装上附加的扫描附件，使试样发出的二次电子在强磁场中被检测、收集成像，即利用透射电镜的扫描附件做出扫描电镜才能完成的二次电子像，而且这种二次电子像的分辨力往往优干同类电子枪的专业扫描电镜。

(5)在物镜的极靴附近加设一个特殊的附加静电装置(Electrostatics Serves)，用来同时汇集一次电子并提取二次电子，再加上物镜顶部环形探测器接收的面积大，灵敏度高，在短工作距离下能明显改善图像的信噪比和提高分辨力。

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原文：http://www.zeptools.com/news/xingyedongtai/2022/0725/1688.html

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