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核心参数
产地类别： 进口
最小线宽： 见资料
电子束直径： 见资料
束流电压范围： 见资料
RIE反应离子刻蚀机
NRE-3500（A）全自动RIE反应离子刻蚀机概述：独立式RIE反应离子刻蚀系统，淋浴头气体分布装置以及水冷RF样品.具有不锈钢柜子以及13"的上盖式圆柱形铝腔,便于晶圆片装载.腔体有两个端口:一个带有2"的视窗,另一个空置用于诊断.该系统可以支持最大到12"的晶圆片。腔体为超净设计，并且根据配套的真空泵可以达到10-6 Torr 或更小的极限真空。该系统系统可以在20mTorr到8Torr之间的真空下工作。真空泵组包含一个节流阀,一个250l/s的涡轮分子泵,滤网过滤器,以及一个10cfm的机械泵(带Formblin泵油).RF射频功率通过600W,13.56MHz的电源和自动调谐器提供。系统将持续监控直流自偏压,该自偏压可以高达-500V.这对于各向异性的刻蚀至关重要。
NRE-3500（A）全自动RIE反应离子刻蚀机是基于PC控制的全自动系统.系统真空压力及DC直流偏压将以图形格式实时显示,流量及功率则以数字形式实时显示.系统提供密码保护的四级访问功能:操作员级、工程师级、工艺人员级,以及维护人员级.允许半自动模式(工程师模式)、写程序模式(工艺模式), 和全自动执行程序模式(操作模式)运行系统。基于全自动的控制，该系统具有高度的可重复性。
NRE-3500（A）全自动RIE反应离子刻蚀机产品特点：
铝质腔体或不锈钢腔体
不锈钢立柜
能够刻蚀硅的化合物(~400? /min)以及金属
典型的硅刻蚀速率，400 ?/min
高达12"的阳极氧化铝RF样品台
水冷及加热的RF样品台
大的自偏压
淋浴头气流分布
极限真空5x10-7Torr，20分钟内可以达到10-6Torr级别
涡轮分子泵
最多支持5个MFC
无绕曲气体管路
自动下游压力控制
双刻蚀能力：RIE以及PE刻蚀(可选)
终点监测
气动升降顶盖
自动上下载片
预真空锁
基于LabView软件的PC计算机全自动控制
菜单驱动，4级密码访问保护
完全的安全联锁
可选ICP离子源以及低温冷却样品台，用于深硅刻蚀
那诺-马斯特电子束刻蚀NRE-3500 (A)的工作原理介绍
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企业名称
深圳市科时达电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
440300215081067
成立日期
2020-10-20
注册资本
100
经营范围
电子产品销售;光电子器件销售;半导体器件专用设备销售;第一类医疗器械销售;卫生用品和一次性使用医疗用品销售;国内贸易代理;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动),许可经营项目是:第二类医疗器械销售;货物进出口;技术进出口。
深圳市科时达电子科技有限公司
公司地址
深圳市光明区公明街道上村社区水贝北路大新华达工业园3号厂房203
客服电话
公司名称： 深圳市科时达电子科技有限公司
公司地址： 深圳市光明区公明街道上村社区水贝北路大新华达工业园3号厂房203 联系人： 林建军 邮编： 518127 联系电话： 400-860-5168转4967
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