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核心参数
曝光模式： 接触式
产地类别： 国产
分辨率： 见资料
光源： 见资料
光源波长： 见资料
光强均匀性： 见资料
曝光面积： 见资料
产品详情
G-30D4型高精密单面光刻机
产品介绍：
设备概述:
本设备为我公司专门针对各大、中、小型企业的使用特性而研发的一种高精密双面光刻机，它主要用于中小规模集成电路、半导体元器件、声表面波器件的研制和生产,它具有生产效率高、结构简单、操作维护方便等优势，本机不仅适合4英寸以下各型基片的曝光，也适合易碎片如砷化钾、磷化铟等基片的曝光以及非圆形基片和小型基片的曝光。
主要构成
主要由防震工作台、LED专用曝光头、气动系统、电气控制系统、真空管路系统、直联式真空泵及附件箱等组成。
1. 适用范围
Φ100mm以下，厚度(包括非圆形基片2. 结构
3. 操作简便
4. 设备运行稳定、可靠
5. 特设功能
的基片造成的版片分离不开所引起的版片无法对准的问题
主要技术指标
<span "="" style="box-sizing: border-box;padding: 0px;font-size: 0.15rem;line-height: 22.5px">
1、曝光类型：双面，一次同时曝光(配置4″LED专用曝光头)2、曝光面积：110×110mm；
3、曝光照度不均匀性：≤±3%；
4、曝光强度：0～30mw/cm2可调；
5、紫外光束角：≤3?；
6、紫外光中心波长：365nm；
7、紫外光源寿命：≥2万小时；
8、工作面温度：≤30℃
9、采用电子快门；
10、曝光分辨率：2μm(曝光深度为线宽的10倍左右)
11、曝光方式：接触式曝光；
12、掩模版尺寸：≤127×127mm；
13、基片尺寸：≤ Φ100mm;
14、基片厚度：≤5 mm；
15、曝光定时：0～999.9秒可调；
激光直写光刻机 G-30D4的工作原理介绍
激光直写光刻机 G-30D4的使用方法?
G-30D4多少钱一台?
激光直写光刻机 G-30D4可以检测什么？
激光直写光刻机 G-30D4使用的注意事项？
G-30D4的说明书有吗？
激光直写光刻机 G-30D4的操作规程有吗？
激光直写光刻机 G-30D4报价含票含运吗？
G-30D4有现货吗？
企业名称
深圳市科时达电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
440300215081067
成立日期
2020-10-20
注册资本
100
经营范围
电子产品销售;光电子器件销售;半导体器件专用设备销售;第一类医疗器械销售;卫生用品和一次性使用医疗用品销售;国内贸易代理;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动),许可经营项目是:第二类医疗器械销售;货物进出口;技术进出口。
深圳市科时达电子科技有限公司
公司地址
深圳市光明区公明街道上村社区水贝北路大新华达工业园3号厂房203
客服电话
公司名称： 深圳市科时达电子科技有限公司
公司地址： 深圳市光明区公明街道上村社区水贝北路大新华达工业园3号厂房203 联系人： 林建军 邮编： 518127 联系电话： 400-860-5168转4967
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