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美国Nano-Master NSC-3000 (A) 全自动磁控溅射系统

产地: 美国
型号: NSC-3000 (A)
报价: ¥100万 - 150万
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核心参数

产地类别: 进口

CCD相机分辨率: 见资料

极限速度: 见资料

空间分辨率: 见资料

角分辨率: 见资料

产品介绍

NSC-3000(A)全自动磁控溅射系统概述:带有水冷或者加热(最高可加热到700度)功能,最大到6"旋转平台,最大可支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。

NSC-3000(A)带有14”立方形铝质腔体,32”的磁控管,DC直流和RF射频电源。 在选配方面,我们提供不锈钢腔体,260 l/s涡轮分子泵,额外的磁控管和衬底加热功能。

NSC-3000(A)全自动磁控溅射系统产品特点:

  • 不锈钢,铝质腔体或钟罩式耐热玻璃

  • 70或250l/s的涡轮分子泵,串接机械泵或干泵

  • 13.56MHz300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源

  • 晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率

  • 带观察视窗的腔门易于上下载片

  • 基于LabView软件的PC计算机控制

  • 带密码保护功能的多级访问控制

  • 完全的安全联锁功能

  • 预真空锁以及自动晶圆片上/下载片

NSC-3000(A)全自动磁控溅射系统选配项:

  • 不锈钢腔体

  • RFDC溅射

  • RFDC偏压(1000V

  • 样品台可加热到700°C

  • 膜厚监测仪

  • 基片的RF射频等离子清洗

NSC-3000(A)全自动磁控溅射系统应用:

  • 晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆

  • 光学以及ITO涂覆

  • 带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆

  • RF射频等离子放电的反应溅射



售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 免费安装培训
免费仪器保养: 质保期内免费仪器保养
保内维修承诺: 质保期内免费非人为损坏免费维修
报修承诺: 24小时内到达现场并维修
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工商信息

企业名称

深圳市科时达电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

440300215081067

成立日期

2020-10-20

注册资本

100

经营范围

电子产品销售;光电子器件销售;半导体器件专用设备销售;第一类医疗器械销售;卫生用品和一次性使用医疗用品销售;国内贸易代理;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动),许可经营项目是:第二类医疗器械销售;货物进出口;技术进出口。

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深圳市科时达电子科技有限公司为您提供那诺-马斯特美国Nano-Master NSC-3000 (A) 全自动磁控溅射系统,那诺-马斯特NSC-3000 (A) 产地为美国,属于进口电子背散射衍射系统(EBSD),除了美国Nano-Master NSC-3000 (A) 全自动磁控溅射系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多电子背散射衍射系统(EBSD),Kesda客服电话400-860-5168转4967,售前、售后均可联系。
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