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英国VS4, SEE- 电子束蒸发镀膜机 (E-beam Evaporator)

品牌:
产地: 英国
型号: VS4, SEE-5S
报价: ¥400万 - 500万
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产品介绍

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电子束蒸发系统是化合物半导体器件制作中的一种重要工艺技术;它是在高真空状态下由电子束加热坩埚中的金属,使其熔融后蒸发到所需基片上形成金属膜。可蒸发很多难熔金属或者蒸汽压低的金属材料,包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…

技术参数:
1. 蒸发室尺寸:24"×24"×21";

2. 极限真空度:≤5×10-7托;

3. 电子枪功率: 6千瓦可调;

4. 蒸发速率:可由晶体振荡器监控厚度和沉积速率;

5. 可蒸发金属膜Al,Ti,Pt,Au,Ag,Cu,NiCr等;

6. 膜厚度误差 ≤±5%,膜厚均匀性误差 ≤±5% 。



主要特点:
1. 安全简易的软件操作系统,四个不同级别的用户权限(操作、工艺、工程师以及维修保养)较大限度的保证系统的安全。


2. 双腔设计:蒸发材料和晶片分别处于不同的腔体中,使得源材料的更换和晶片的装载过程中最大限度的保证腔体的洁净程度和缩短抽真空的时间。

3. 较大的前腔门使得在维修和保养的过程中极为方便。

4. 采用卫星旋转式晶片装载夹具,可以根据不同的产量的需要升级晶片直径或增加夹具的数量。卫星旋转式夹具保证了沉积薄膜的均匀性。


售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 免费安装培训
免费仪器保养: 质保期内免费仪器保养
保内维修承诺: 质保期内免费非人为损坏免费维修
报修承诺: 24小时内到达现场并维修
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外延系统VS4, SEE-5S的工作原理介绍

外延系统VS4, SEE-5S的使用方法?

VS4, SEE-5S多少钱一台?

外延系统VS4, SEE-5S可以检测什么?

外延系统VS4, SEE-5S使用的注意事项?

VS4, SEE-5S的说明书有吗?

外延系统VS4, SEE-5S的操作规程有吗?

外延系统VS4, SEE-5S报价含票含运吗?

VS4, SEE-5S有现货吗?

工商信息

企业名称

深圳市科时达电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

440300215081067

成立日期

2020-10-20

注册资本

100

经营范围

电子产品销售;光电子器件销售;半导体器件专用设备销售;第一类医疗器械销售;卫生用品和一次性使用医疗用品销售;国内贸易代理;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动),许可经营项目是:第二类医疗器械销售;货物进出口;技术进出口。

联系方式
深圳市科时达电子科技有限公司为您提供英国VS4, SEE- 电子束蒸发镀膜机 (E-beam Evaporator)VS4, SEE-5S,nullVS4, SEE-5S产地为英国,属于外延系统,除了英国VS4, SEE- 电子束蒸发镀膜机 (E-beam Evaporator)的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多外延系统,Kesda客服电话400-860-5168转4967,售前、售后均可联系。
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公司地址: 深圳市光明区公明街道上村社区水贝北路大新华达工业园3号厂房203 联系人: 林建军 邮编: 518127 联系电话: 400-860-5168转4967

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