核心参数
刻蚀原理: 等离子体刻蚀
产地类别: 进口
刻蚀原理: 见资料
刻蚀速率: 见资料
刻蚀剖面: 见资料
选择比: 见资料
均匀性: 见资料
残留物: 见资料
宽深比: 见资料
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