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Laser MBE
Laser MBE
特点
模块化概念，Laser MBE可以轻松升级到中央传输模块或其他模块
UHV PLD主腔室、利用Load-lock实现衬底和靶材的UHV传输
先进的工艺自动化功能，可实现超晶格生长
温度测量准确的耐氧衬底加热器，最高1000 ℃，也可以选配激光加热
靶台可以屏蔽交叉污染，传输整个carrousel而非单个靶材
真空腔室利于系统升级（RHEED，等离子体源，OES/FTIR等）
SURFACE激光能量密度控制选件，100%的结果可重复性
全封闭光路，安全省事
整套交付，先进的在线支持
PLD/Laser MBE腔室
PLD/Laser MBE腔室
SURFACE的Laser MBE腔室专为科研而设计，并提供高级Laser MBE需要的所有特征。
衬底和靶材的UHV传输
冷壁设计防止沉积过程中腔壁放气
原位分析窗口和法兰口（RHEED，OES或FTIR，质谱仪）
沉积源和等离子体源备用法兰口
先进的SURFACE衬底加热器或激光加热
靶台最多可存贮5个1寸靶材
激光能量密度控制
激光能量密度控制
Laser MBE可以选配SURFACE 激光能量密度控制功能。它可以确保薄膜沉积的重复性。在每一步沉积前，自动校准激光能量密度，脉冲能量随着时间推移而始终保持恒定。
Load Lock
Loadlock腔室最多可同时装载5个样品和2个靶台carrousel。
控制软件
控制软件
SURFACE的Laser MBE设备均是高度自动化的，可以自动控制整个沉积过程，从而确保设备易于操作。
多个工艺步骤被合并到一个沉积程序中，直观的工艺过程可视化操作，高度灵活的数据记录和导出，优异的自我测试能力。
升级到Cluster系统
Cluster系统
Laser MBE可以轻松升级为功能齐备的cluster系统。在PLD主腔室和Load-lock进样室中间插入中央cluster传输模块。模块化设计和轮式支架简化了升级过程，可根据需要和预算来升级系统。
外延系统 Laser MBE的工作原理介绍
外延系统 Laser MBE的使用方法?
Laser MBE多少钱一台?
外延系统 Laser MBE可以检测什么？
外延系统 Laser MBE使用的注意事项？
Laser MBE的说明书有吗？
外延系统 Laser MBE的操作规程有吗？
外延系统 Laser MBE报价含票含运吗？
Laser MBE有现货吗？
企业名称
深圳市科时达电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
440300215081067
成立日期
2020-10-20
注册资本
100
经营范围
电子产品销售;光电子器件销售;半导体器件专用设备销售;第一类医疗器械销售;卫生用品和一次性使用医疗用品销售;国内贸易代理;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动),许可经营项目是:第二类医疗器械销售;货物进出口;技术进出口。
深圳市科时达电子科技有限公司
公司地址
深圳市光明区公明街道上村社区水贝北路大新华达工业园3号厂房203
客服电话
公司名称： 深圳市科时达电子科技有限公司
公司地址： 深圳市光明区公明街道上村社区水贝北路大新华达工业园3号厂房203 联系人： 林建军 邮编： 518127 联系电话： 400-860-5168转4967
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