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深圳市科时达电子科技有限公司

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当前位置： Kesda > 退火炉 > 荷兰 真空快速退火炉 AS-One100/150

荷兰 真空快速退火炉 AS-One100/150

品牌：
产地： 荷兰
型号： 0
报价： ¥30万 - 50万
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核心参数

仪器种类： 高真空快速退火炉

产地类别： 进口

样品尺寸： 见资料

温度范围： 见资料

最高升温速率： 见资料

降温速率： 见资料

退火温度准确性： 见资料

退火温度均匀性： 见资料

产品介绍

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真空快速退火炉AS-One



AS-One是一种通用的RTP系统，可用于开发快速热退火和快速热CVD工艺。

可以搭配分子泵实现高真空下热处理工艺。

最高温度1500 ℃，最快升温速率200℃/Second。

全程PC软件控制升温程序，保证温度不过冲，控温精度准确。


应用：

• RTA（快速热退火）

• RTO（快速热氧化）

• 欧姆接触退火

• 植入退火

• 石墨烯和hBN的快速热化学气相沉积RTCVD

• 硒化，硫化

• 结晶和致密化


产品特点：

1、 红外卤素灯管加热，冷却采用风冷（低噪音水平，无需压缩空气）；

2、加热由功率控制而非电压控制，避免了由于灯丝老化电阻改变导致的后续使用中加热不均的问题，保证了良好的重现性及均温性，即使在后续使用过程中更换了部分新的灯管也可以达到最初的热处理效果；

3、石英腔体，腔体冷却采用水冷，冷壁设计，双层不锈钢；

冷壁水冷技术优点在于：1、无记忆，2、工艺重复性高，3、冷却速度快；

4、反应腔室的设计，气体的进入口设计在wafer的表面，避免在退火过程中冷点的产生。很好的保证了样品在加热过程中的均温性；

5、快速数字PID控温；

6、热电偶配合高温计控温，测试样品的温度，控温精准；

7、大气和真空工艺均适合，净化气体配针阀；

8、最多5路工艺气体，配数字质量流量控制器；

9、电脑通过以太网连接更快的数据传输速度；

10、可选配石墨托盘表面涂SiC薄膜设计，用于小样品测试；

11、可选配分子泵，用于高真空测试；

产品标准配置及规格参数：

1、样品最大尺寸：AS-One100：4-inch；AS-One150 ：6-inch；

2、温度范围：AS-One100室温~1250 ℃；（室温~1500 ℃可选）

            AS-One150室温~1200 ℃；（室温~1300 ℃可选）

3、升温速率：AS-One100 ：0.1 ℃~250 ℃/s ；

            AS-One150 ：0.1 ℃~200 ℃/s ；

4、温度控制：快速数字PID控制；

5、热电偶：2个K型热电偶；

6、低温高温计温度范围：150℃~1100 ℃；

7、高温高温计温度范围：400℃~1500 ℃；

8、工艺气体气路配质量流量计；

9、配置真空泵及真空规；

售后服务
保修期： 1年
是否可延长保修期： 是
现场技术咨询： 有
免费培训： 免费安装培训
免费仪器保养： 质保期内免费仪器保养
保内维修承诺： 质保期内免费非人为损坏免费维修
报修承诺： 24小时内到达现场并维修
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工商信息

企业名称

深圳市科时达电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

440300215081067

成立日期

2020-10-20

注册资本

100

经营范围

电子产品销售;光电子器件销售;半导体器件专用设备销售;第一类医疗器械销售;卫生用品和一次性使用医疗用品销售;国内贸易代理;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动),许可经营项目是:第二类医疗器械销售;货物进出口;技术进出口。

联系方式

深圳市科时达电子科技有限公司

公司地址

深圳市光明区公明街道上村社区水贝北路大新华达工业园3号厂房203

客服电话

400-860-5168转4967
深圳市科时达电子科技有限公司为您提供荷兰 真空快速退火炉 AS-One100/150，null0产地为荷兰，属于进口退火炉，除了荷兰 真空快速退火炉 AS-One100/150的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多退火炉,Kesda客服电话400-860-5168转4967，售前、售后均可联系。
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公司地址： 深圳市光明区公明街道上村社区水贝北路大新华达工业园3号厂房203 联系人： 林建军 邮编： 518127 联系电话： 400-860-5168转4967

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