德国Diener Tetra30 等离子表面处理仪

Diener等离子表面处理设备                        德国原装进口

德国Diener是专门生产经济、可靠的等离子清洗和等离子刻蚀设备的公司, 是世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技术领先者。Diener采用先进的集成化技术开发生产射频频率为40KHz 、80KHz、13.56MHz，以及代表等离子应用最先进技术的2.45GHz的等离子清洗机。

目前设备广泛应用于：等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其设备生产零件均选用其零件行业的最优质产品，以保证性能技术稳定。

德国diener等离子表面处理设备特点：

• 等离子清洗机清洗效果好，效率高，应用范围广。

• 对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求

• 等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。

• 射频功率无极连续可调。

• 高效的特制电极，是产生均匀等离子体的保证。

• 特制电极和托盘结构，可充分利用真空舱体内部空间，使处理效率最大化，同时也可保证样品可得到全面有效的清洗。

• 特有的过载、短路和过热保护电路，可保证射频电源的稳定和安全。

• 设备整体模块化设计，安装与维护极为简单。

德国diener等离子表面处理设备的应用范围：    

•    清洗电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片、芯片。

•    清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。

•        移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质。

•        清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石。

•        清洗半导体元件、印刷线路板。

•        清洗生物芯片、微流控芯片。

•        清洗沉积凝胶的基片。

•        高分子材料表面修饰。

•        牙科材料、人造移植物、医疗器械的消毒和杀菌。

•        改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。

•        煤、石棉灰化。

Diener Tetra30 Plasma  

主要技术参数：

1.   *便捷的PC触摸屏控制，操作系统为Windows CE5.0(ARM)

2.   *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量与时间等参数

3.   双路工作气体，气体流量通过数字式流量计（MFC）控制

4.   *反应舱为不锈钢，宽305mm ×深625 mm×高300 mm，容积约为50L

5.   高周波电流频率13.56MHz,功率0~300W

6.   反射波自动调节，无须手工调节

7.   电极材质为铝/不锈钢

8.   运行模式为手动/自动

9.   *可存储多套工艺程序，图表实时显示工艺过程

10.真空泵的排气能力为16m3/Hour，配有强制进气阀

11.*配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值

12.电源电压：400V /16A