迈纳德热型原子层沉积设备MNT-S

品牌：无锡迈纳德

产地：江苏

型号： MNT-S

报价： ¥10万 - 50万

核心参数

产地类别：国产

衬底尺寸： 4-12英寸

工艺温度：常温-400℃

前驱体数： 4-8路

重量： 500kg

尺寸(W x H x D)： 800*720*1000mm

均匀性：参考样品台尺寸

产品介绍

反应腔体	横流模式的单腔反应腔/喷淋模式的双腔反应腔
衬底规格	4-12寸单片三维复杂衬底/粉末与颗粒/多孔及高纵深比材料 RT-400 ^oC，控制精度±1^oC @单腔 RT-500 ^oC，控制精度±1^oC @双腔
阀门	Swagelok专用ALD阀门，耐热温度200 ^oC
前驱体源	液态、固态、气态以及臭氧源，容器标准50 mL挥发式容器和100 mL载气辅助式容器，其他规格可定制最高可配备8路前驱体源

载气	Ar，质量流量控制器
管路源容器加热温度	配可拆卸加热套，RT-250 ^oC，控制精度±1^oC
真空系统	油泵、防腐油泵、干泵可选
压力传感器	检测范围1000-2.3*10-4 Torr
真空管路	烘烤至200℃，且真空泵前级配置热阱，加热温度300℃
控制	触摸屏+PLC/选配电脑
机柜	可移动铝型材框架，不锈钢面板最小尺寸：7207001000mm 最大尺寸：100010001000mm
选配	臭氧发生器/粉末沉积盘/手套箱耦合/ QCM 尾气处理装置

售后服务

保修期： 1年

是否可延长保修期：否

现场技术咨询：无

免费培训： 3人次技术培训

免费仪器保养： 3月1次

保内维修承诺：免费维修更换零件

报修承诺： 2小时内响应24小时内到达现场进行维修

工商信息

企业名称

江苏迈纳德微纳技术有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

91320214MA1NPH6357

成立日期

2017-04-05

注册资本

10000000

经营范围