关注
已关注
已认证
粉丝量 0
核心参数
产地类别： 国产
衬底尺寸： 4-8英寸
工艺温度： 80-300℃
前驱体数： 4-8路
重量： 500kg
尺寸(W x H x D)： 1280*800*1720mm
均匀性： 参考样品台尺寸
热门推荐
反应腔体 | 横流模式的单腔反应腔/喷淋模式的双腔反应腔 |
等离子体产生方式 | 电容式CCP/电感耦合ICP |
衬底规格 | 4-8寸单片 三维复杂衬底/粉末与颗粒/多孔及高纵深比材料 RT-400 oC，控制精度±1 oC @单腔 RT-500 oC，控制精度±1 oC @双腔 |
阀门 | Swagelok专用ALD阀门，耐热温度200 oC |
前驱体源 | 液态、固态、气态以及臭氧源，容器标准50 mL挥发式容器和100 mL载气辅助式容器，其他规格可定制 可配备4-8路前驱体源 |
等离子体气源 | H2/O2/NH3/ N2 |
载气 | Ar，质量流量控制器 |
管路源容器加热温度 | 配可拆卸加热套，RT-250 oC，控制精度±1 oC |
真空系统 | 油泵、防腐油泵、干泵可选 |
压力传感器 | 检测范围1000-2.3*10-4 Torr |
真空管路 | 烘烤至200℃，且真空泵前级配置热阱，加热温度300℃ |
控制 | 触摸屏+PLC |
机柜 | 可移动铝型材框架，不锈钢面板 尺寸：1280*800*1720mm |
选配 | 臭氧发生器/粉末沉积盘/手套箱耦合/ QCM 尾气处理装置 |
企业名称
江苏迈纳德微纳技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91320214MA1NPH6357
成立日期
2017-04-05
注册资本
10000000
经营范围
仪器信息网APP
展位手机站