迈纳德等离子体增强型原子层沉积系统设备MNT-P

品牌：无锡迈纳德

产地：江苏

型号： MNT-P

报价： ¥100万 - 200万

核心参数

产地类别：国产

衬底尺寸： 4-8英寸

工艺温度： 80-300℃

前驱体数： 4-8路

重量： 500kg

尺寸(W x H x D)： 1280*800*1720mm

均匀性：参考样品台尺寸

产品介绍

反应腔体	横流模式的单腔反应腔/喷淋模式的双腔反应腔
等离子体产生方式	电容式CCP/电感耦合ICP
衬底规格	4-8寸单片三维复杂衬底/粉末与颗粒/多孔及高纵深比材料 RT-400 ^oC，控制精度±1^oC @单腔 RT-500 ^oC，控制精度±1^oC @双腔
阀门	Swagelok专用ALD阀门，耐热温度200 ^oC
前驱体源	液态、固态、气态以及臭氧源，容器标准50 mL挥发式容器和100 mL载气辅助式容器，其他规格可定制可配备4-8路前驱体源
等离子体气源	H2/O2/NH3/ N2
载气	Ar，质量流量控制器
管路源容器加热温度	配可拆卸加热套，RT-250 ^oC，控制精度±1^oC
真空系统	油泵、防腐油泵、干泵可选
压力传感器	检测范围1000-2.3*10-4 Torr
真空管路	烘烤至200℃，且真空泵前级配置热阱，加热温度300℃
控制	触摸屏+PLC
机柜	可移动铝型材框架，不锈钢面板尺寸：12808001720mm
选配	臭氧发生器/粉末沉积盘/手套箱耦合/ QCM 尾气处理装置

售后服务

保修期： 1年

是否可延长保修期：否

现场技术咨询：无

免费培训： 3人次技术培训

免费仪器保养： 3月1次

保内维修承诺：免费维修更换零件

报修承诺： 2小时内响应24小时内到达现场进行维修

工商信息

企业名称

江苏迈纳德微纳技术有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

91320214MA1NPH6357

成立日期

2017-04-05

注册资本

10000000

经营范围