行业解决方案 | 布劳恩层流系统等产品助力OLED生产

布劳恩惰性气体系统

2023/07/31 09:14

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OLED（Organic Light Emitting Diode）技术作为一种前沿的显示和照明技术，正以惊人的速度改变着我们的日常生活。OLED即“有机发光显示技术”，其原理是在两电极之间夹上有机发光层，当正负极电子在此有机材料中相遇时就会发光。其组件结构比较简单，是在ITO玻璃上蒸镀一层几十纳米厚的有机发光材料作发光层，发光层上方有一层低功函数的金属电极，构成如三明治的结构。由于有机材料易与水气或氧气作用，产生暗点(Dark spot)而使元件不发亮，因此此元件于真空镀膜完毕后，必须于无水无氧环境下进行封装工艺。

MBRAUN在OLED，有机发光电子等行业拥有丰富的研发和产业经验，可结合客户需求，为客户提供丰富的环境管控、生产工艺设备以及集成式的半自动/自动化解决方案。以下是布劳恩部分相关产品概览。

层流

根据科研领域的最新成果以及OLED厂商多年来累积的经验表明粉尘是一个经常被低估的问题。粉尘的存在不仅对有机器件造成不良影响，如导致短路和坏点，而且会进一步导致整个生产流程中的良率下降。常用于半导体产业中的层流系统是建立无尘环境的标准解决方案。

MBRAUN是少数能够满足ISO2级(国际标准) 空气洁净度标准的供应商，MBRAUN设计开发了适用于从小规模标准化研发领域到完整大型生产线领域的一系列不同规格的惰性气体层流系统，可最大程度上减少基片和盖板玻璃上的粉尘数量，从而显著提高所有相关工艺环节的生产质量。

目前MBRAUN研发的无水、无氧、无尘的层流系统正广泛应用于OLED，有机光伏，钙钛矿，3D打印/增材制造、焊接等行业。

蒸镀系统

蒸镀是OLED制造工艺的精华部分，MBRAUN开发的蒸镀系统，具备丰富的可选配置和定制方案，专为满足专业研究到中试规模生产的要求而设计，目前广泛应用于大学研究所和工业实验室。

狭缝涂布机

近年来，成熟的狭缝涂布 (SDC) 技术在 OLED 材料处理中得到了应用。特别是在需要涂布大面积高度均匀的薄膜时，这种涂布方法优于许多其他涂布技术。在卷对卷（R2R）工艺中，处理速度是一个重要因素，SDC证明了其多功能性、可重复性和稳健性，这些特点对于研究和制造环境来说非常重要。

2021年2月MBRAUN与FOM Technologies A/S达成战略合作；为全球范围内的客户提供溶液法涂布方案。涂布设备规格覆盖实验室级别到中试/小规模量产级别，并兼具适用于刚性基板的片对片工艺（S2S）和适用于柔性基板的卷对卷工艺（R2R）。

热板

热板用来去除基板表面的水或溶剂，或用于在特定温度环境下对特殊敏感材料进行干燥处理。MBRAUN所有的热板都是经过特殊设计的，可集成于惰性气体环境或者单独使用。

VCD液膜固化

MBRAUN开发的VCD（Vacuum Chamber Dryer）被广泛用于OLED显示面板行业，有机光伏和钙钛矿行业中溶液法薄膜涂布/旋涂/打印/喷涂后的液膜可控固化，具有良好的温度均匀性、温度准确性、工艺稳定性和可重复性。独特的流场设计、温度和压力控制功能为溶液法薄膜制备的固化工艺提供了广阔的工艺探索空间。