核心参数
产地类别: 进口
高度定制化系统
可多台设备模块化组合成团簇集群式(cluster)或直线式(in-line)系统
多掩膜板/基片切换系统
可升级为与手套箱集成版本
标准膜厚均匀性:+/- 3 %(特殊定制可实现+/- 1 %)
OPTIvap 4支持:100x100 mm方片或6“晶圆
OPTIvap 6支持:210x210 mm方片或12“晶圆
应用:
储能电池
有机光电器件(OLED,OPV)
光学镀膜
半导体器件、光伏电池
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企业名称
布劳恩惰性气体系统(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(外国法人独资)
信用代码
91310115743294820A
成立日期
2002-09-28
注册资本
200000
经营范围
设计、开发、生产惰性气体保护系统及相关设备,销售自产产品,并提供相关的技术咨询和技术服务。 【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
布劳恩惰性气体系统(上海)有限公司
公司地址
上海市浦东新区金唐路145号1号楼
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