核心参数
产地类别: 进口
可单独使用
紧凑型设计
经济型解决方案
多源共蒸
一致性标准偏差在+/-3 %区间 (几何式设计可缩小至+/-1 %)
最多可实现8源共蒸
UNIvap 4S支持100x100 mm方片或 6"晶圆
UNIvap 5S支持150x150 mm方片或 8"晶圆
应用:
金属镀膜
光学镀膜
半导体器件
光伏电池
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企业名称
布劳恩惰性气体系统(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(外国法人独资)
信用代码
91310115743294820A
成立日期
2002-09-28
注册资本
200000
经营范围
设计、开发、生产惰性气体保护系统及相关设备,销售自产产品,并提供相关的技术咨询和技术服务。 【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
布劳恩惰性气体系统(上海)有限公司
公司地址
上海市浦东新区金唐路145号1号楼
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