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太赫兹技术测量石墨烯与二维材料的电学参数
检测方法优势:非接触式无损测厚方法;太赫兹具有穿透性,能穿透多种非极性材料;无需制备样品的繁琐步骤 方案性能优势: 功能强大—专利提取算法,一次测量可得电阻率、电导率、载流子迁移率、载流子密度、载流子散射时间、均匀性等所有参数分布图,包括每点位置的时域频域信号与各类分析数据 快速与高分辨率—分辨率可达50um,扫描速度高达12cm2/min 大面积表征—探测面积可从0.5 mm2到更大面积(m2),可用于工业化检测 可测材料多—石墨烯、薄膜、半导体、光伏器件等多种材料
材料
2022/11/28
广州虹科电子科技有限公司
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