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太赫兹技术测量石墨烯与二维材料的电学参数
2022/11/28 11:43
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方案摘要：
方案详情：
检测方法优势：非接触式无损测厚方法；太赫兹具有穿透性，能穿透多种非极性材料；无需制备样品的繁琐步骤
方案性能优势：
功能强大—专利提取算法，一次测量可得电阻率、电导率、载流子迁移率、载流子密度、载流子散射时间、均匀性等所有参数分布图，包括每点位置的时域频域信号与各类分析数据
快速与高分辨率—分辨率可达50um，扫描速度高达12cm2/min
大面积表征—探测面积可从0.5 mm2到更大面积(m2)，可用于工业化检测
可测材料多—石墨烯、薄膜、半导体、光伏器件等多种材料
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