电子显微镜专用纳米机械手解决方案

Imina公司的miBotTM是世界上最紧凑的机器人，具有4个自由度及纳米定位分辨率，专为FIB/SEM电性测量及分析开发。与传统纳米机械手不同，miBotTM是一种自由移动机械手，几乎不受限制，能够在载台表面自由移动。由于采用非固定安装，miBotTM可以定位任意位置同时能够测量各种外形样品。miBotTM采用压电陶瓷驱动，运动范围达厘米级，定位分辨率从微米到纳米不等，步进模式能够快速移动探针指感兴趣区域，而扫描模式能够快速落针。miBotTM具备高刚度手臂使其抗震性好，其无与伦比的稳定性确保了即使在最小的样品上也能长时间保持稳定接触。miBots移动均在本身方向进行，无需传统旋转和平移耦合控制，因而操控非常直观。用户很快可掌握，大大减小损坏样品的风险，用户也更为直观实现各类电学测量分析。

• 功能丰富且容易满足各类样品需求

• 优化的操作设计确保操作简单、测量安全可靠、数据传输快

• 兼容低加速电压和短工作距离分析，同时支持磁性镜筒的高分辨率成像

• 55°倾斜角度下依然能长时间稳定定位和电学接触，满足FIB原位分析

• 厘米级移动范围，高达15μm范围高精度纳米级精细运动控制

• 适配小工作距离

• 适配磁性镜筒平台

• 适配FIB大倾转分析

• 标准纳米钨针

• 光纤机械手

• 配置灵活方便

可选配置：

1. 变温载台

温度范围：-30℃~+150℃，可连续精准控温

温度稳定性：<0.05℃

可折叠散热器满足小腔体SEM安装

Peltier半导体制冷无震动

2. EFA电性失效分析

专为EBIC、EBAC/RCI和EBIRCh的高效精确缺陷定位设计

实时成像，缩短数据传输时间

自动路径规划简化操作流程

各种故障案例进行高性能分析

3. XYZ子样品台

在电镜载台运动外增加样品独立XYZ调节

降低探针落针时间及满足批量测量

行程范围：5mm（X/Y），330μm（Z）

分辨率：2nm（X/Y），7nm（Z）

4. 软件模块化纳米分析工作流程

预设分步式流程，降低学习曲线并减少数据处理时间

快速设置工作流程，轻松完成落针

配备预定义的测量配方

管理测量数据库，轻松进行曲线对比及结果导出

5. 大样品载台

双层架空设计

最大支持2英寸晶圆以及先进封装和横截面样品测试

不同高度支架选择满足各种高度样品分析

6. 标准失效分析设备设计

可选标准19寸机柜，可容纳各类控制器及标准可参数分析仪

标准工具和配件工具箱

预装软件工作站及配套显示器

应用场景：

1. 纳米分析

• 失效分析和可靠性分析

• 集成电路安全评估

• 芯片设计及逆向工程

2. EBAC/RCI分析

• 开路、电阻或短路缺陷定位分析

• 制造和长期问题诊断

• 低电阻梯度分析

3. 半导体器件分析

• 单个晶体管/二极管的I-V曲线测量

• SRAM位单元特性分析

• 通孔电阻率测量

4. 电性测量

• MEMS和传感器驱动和分析

• 光电子器件测试：MicroLED、太阳能电池

• 材料表征：纳米线、石墨烯、薄膜、纳米颗粒

5. EBIC分析

• PN结区可视化及缺陷定位

• 偏压下样品电荷成像分析

• 掺杂可视化及分析

6. 纳米操纵

• 纳米颗粒分离和定位

• TEM样品制备

• 微纳组装