奥林巴斯半导体FPD检测显微镜
产品型号:MX63MX63L
产品简介:MX 63 和 MX63L 显微镜系统具有多种功能,采用符合人体工学的易用设计,能够提供300mm 晶圆、平板显示器、印刷电路板、以及其他大型样本的高品质观察。该产品采用灵活的模块设计,能够提供适用于多种检查用途的观察系统。通过与奥林巴斯 Stream 图像分析软件结合,从观察到报告生成在内的整体检查过程都变得简单
产品介绍:现今智能手机产业的蓬勃发展带动了包括半导体、平板显示(FPD)、印制电路板(PCB)等整个电子制造业的飞速进步。奥林巴斯新推出的MX63和MX63L工业检测显微镜具备优异的光学性能、适合大样品的检测、先进的人体工学设计等诸多优点将会有助电子制造行业的发展更上一层楼。
新MX63/MX63L显微镜是该系列支持奥林巴斯MIX照明功能的产品,由此进一步提升了该显微镜的观察能力。MIX可将暗场与明场、荧光或偏振等其他观察方法结合使用。在很多应用中,MIX能够帮助用户观察到使用传统显微镜难以看到的缺陷。
新MX63/MX63L显微镜配备了高强度白光LED光源,兼顾低功耗和长寿命的优点,而且其稳定的色温为可靠的图像质量和精确的色彩复现提供了保障。
新MX63/MX63L显微镜特别适用于半导体、平板显示、印制电路板等行业的大尺寸样品检测。MX63可用于晶圆直径200mm,MX63L可用于晶圆直径300mm。此外,新显微镜还可以选配晶园搬送机,实现可靠、安全、高效的对晶圆正面和背面进行检测。
新MX63/MX63L显微镜的模块化设计让检测者能够根据应用需要选择组件。两款显微镜均按洁净室应用而设计,并符合SEMI S2/S8、CE和UL要求。所有电动组件均安装在屏蔽结构内,镜架、镜筒以及其他部件均经过防静电处理。
MX63 | MX63L | ||
光学系统 | UIS2光学系统(无限远校正系统) | ||
显微镜镜架 | 反射光照明 | 白光LED (带有光强度控制器) 12伏100瓦卤素灯, 100瓦汞灯 明场/暗场/分光镜组件手动切换。(反射镜分光镜组件为选配件。) | |
透射光照明 | 透射光照明装置:需使用MX-TILLA或MX-TILLB。 | ||
聚焦 | 行程:32毫米 | ||
载荷重量(包括载物台和支架) | 8公斤 | 15公斤 | |
观察筒 | 宽视场(FN 22毫米) | 正像三目镜筒:U-ETR4 | |
超宽视场(FN 26.5毫米) | 正像可调倾角三目镜筒:MX-SWETTR (光程切换100 (目镜) : 0 (相机) 或 0 : 100) | ||
电动物镜转换器 | 明场 明场和暗场 | ||
载物台 (X × Y) | 带内置离合驱动的同轴右手柄:MX-SIC8R 带内置离合驱动的同轴右手柄:MX-SIC6R2 | 带内置离合驱动的同轴右手柄:MX-SIC1412R2 | |
重量 | 约35.6公斤 (显微镜架26公斤) | 约44公斤 (显微镜架28.5公斤) |
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