台式扫描电镜TM4000

品智创思

2019/11/04 10:41

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台式扫描电镜

台式SEM进入新纪元。

画质更加清晰，操作更加便捷，观看更加直观。TM4000系列搭载新技术，可满足“更好”的观察需求。

台式SEM应用范围更广，助力您的事业发展。

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操作直观，支持使用目标数据制作报告等一系列作业

为满足客户的"想要不进行样品前处理，直接启动设备，快速且简单获取目标样品数据"需求，TM4000系列进行了全面改进。
可观察大直径为80 mm，厚度为50 mm的样品。设备内置光学相机 (选配)，可轻松寻找目标样品。
从装样到获取图像仅需3分钟左右，优化了原来的形状观察、元素分析到报告制作的工作流程。

技术规格：

项目	TM4000Plus	TM4000
放大倍率	×10~×100,000 (底片倍率) ×25~×250,000 (显示器倍率)
加速电压	5 kV、10 kV、15 kV
图像信号	背散射电子二次电子合成 (背散射电子＋二次电子)	背散射电子
真空模式	导电体 (背散射电子) 标准减轻荷电	标准减轻荷电
图像模式(背散射电子)	标准(BSE)、阴影像1、阴影像2、凹凸形貌像
样品移动范围	X: 40 mm Y: 35 mm
样品尺寸	80 mm(直径) 50 mm(厚度)
电子枪	预对中型钨灯丝
探测器	背散射电子: 高灵敏度4分割背散射电子探测器二次电子: 高灵敏度低真空二次电子探测器	背散射电子: 高灵敏度4分割背散射电子探测器
图像自动调整功能	自动启动、自动聚焦、自动亮度调整
图像存储像素	2,560×1,920 像素、1,280×960 像素、640×480 像素
图像格式	BMP、TIFF、JPEG
数据显示	标尺、微尺值、放大倍率、日期、时间、图像No.WD、注释、加速电压、真空模式、图像模式、图像信号
真空系统(真空泵)	涡轮分子泵: 67 L/s 1台隔膜泵: 20 L/min
操作辅助功能	电子束旋转、预设倍率(3级) 电子束偏转(±50 μm @ WD6.0 mm)
安全功能	带过电流保护功能、内置漏电断路器
尺寸&重量	主机: 330(长)×614(宽)×547(高) mm、52 kg(motor drive stage) 主机: 330(长)×617(宽)×547(高) mm、52 kg(manual stage) 隔膜泵: 144(长)×270(宽)×216(高) mm