YAMATO光刻胶固化炉

性 能 （依 JTM 规格 ）

使用温度范围 ： 室温 +50～50 0℃

温度调节精度： ±0. 5℃（ａｔ 45 0℃ 无负荷状态下）

温度分布精度： ±5℃（ａｔ 45 0℃ 无负荷状态下）

JTM 标准规定点 根据有效尺寸 1/6 处，含槽内中心点共测量9点

运行： 程序运行（升温 ，恒温，降温 ，定时 ）

定时机能 ： 1min～99h59min，100～999h,

升温速率 ： ≤40min ， (150～450℃≥7.5℃/min ，全程平均 )

洁净度 ： 温度恒定时 100 级

氧浓度 ： 20 ppm 以下

真空度 ： 100Pa 以下

真空到达时间 ： 约15min

工作状态指示：触摸屏上有工作过程（抽真空中 -N2置换中 -氧浓度检测中-加热中、 N2维持中 -恒定中 -冷却中 -抽真空中 -空气进入中  -结束）

构 造

外装材质 ： 冷扎彩钢板 ,表面喷塑

内装承压体材质 ： SUS 316不锈钢板 ，

断热材 ： 硅酸铝棉板

加热器 ： 铠装不锈钢加热管 380Ｖ 4.0KwX3=12Kw

加热板220Ｖ 300 w X 14 = 4.2Kw

组合式送风机 ： 离心风叶 φ230 X 130-1个，风量 L=1800m3/h

变频调速电机380V （1450/min转）

N2喷管 ： N2喷头

水冷器 ： SUS盘管换热器

过滤网 ： 耐高温效过滤网HEPA( 过滤率0.3μm粒子99.9995％以上 )

门 ： 单门正前面 ，门开口Ｗ660×Ｈ 660

外形尺寸 ： 本体 W1150 ×D1215 ×H1697（设置时、以及突起物除外） 

内室尺寸 ： W600×D600×H600mm

容积 ： 216 L

棚受段数 ： 17段/30mm （高度方向均分）

棚板数量 ： 2枚

N2外接进气接头 ： 快换接头φ10mm 一个 。

冷却水接头 ： 快换接头φ10mm和φ16mm各一个 。

测试孔 ： 左侧 1个 KF16 温度分布精测试口、2个内螺纹1/4的接头，用于氧浓度和洁净度的检测 。

电磁阀 ： 控制真空、 N2 、水的通断时序。

重量 :  320g

电 源 ：AC380V 3φ5W 50Hz 30A以下

计装

温度调节器 ： 液晶触摸屏加PLC, ＰIＤ控制，液晶显示，触摸按键设置。

温度传感器 ： Ｋ型热电偶4支

压力控制仪 ： 数字式

压力变送器 ： 相对值压力变送器

压差计 ： 用于测量内槽与空调间之的压差以此为依据来判定过滤器是否需清洁。

变频 器 ： 用与调节风机转速（由触摸屏设定风机频率）

玻璃转子流量计 ： a.300L/min用于快速并保证槽内的氧浓度在10ppm以下 。

                         b.15-25L/min用于维持槽内的氧浓度在10ppm以下，另加预热器保证进入槽内N2温度在槽内设定温度，不 干扰槽内的均匀度。 

氧浓度分析仪 ： 检测槽内氧浓度，20ppm以下在加热，

真空泵 ： 爱发科双级有油旋片式真空泵

温度过升防制器 ： 用于温度异常过升的防止，

电磁阀 ： 用于控制抽真空、 N2和冷却水的开闭。 

强制门锁紧 ： 2处

保护装置

漏电保护开关 ： 本体 380Ｖ 漏电保护开关

               漏电，短路，过电流保护

额定感度电流 30mA

过热防止回路 ： 温度异常过升时，加热器电源断开、电机风叶动作，并报警

送风机电机： 当电机过负荷时、加热器电源断开保护回路，并报警

N2异常 ： 氮气流量不足，加热停止，并报警

冷却水异常 ： 流量不足，报警

门锁 ： 工作时门自动锁

门开关 ： 门未关闭好，机器不会启动，按启动键，给出报警。

异常显示 ： 当上述异常发生时、触摸屏上报警提示框异常显示故障内容 ，蜂鸣器响。