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快速退火炉 LRTP

品牌： 嘉仪通
产地： 湖北
型号： LRTP
报价： ¥10万 - 30万
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核心参数

仪器种类： 普通真空快速退火炉

产地类别： 国产

样品尺寸： 4英寸（100mm）

温度范围： 1200℃

最高升温速率： 100℃/s

降温速率： 200℃/min(1000℃-->400℃)

退火温度准确性： ≤0.1℃

退火温度均匀性： ≤0.5%

产品介绍

快速退火炉LRTP-1200，采用红外辐射加热技术，可实现大尺寸样品（4英寸）快速升温和降温，同时搭配超高精度温度控制系统，可达到极佳的温场均匀性，对材料的快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)等研究工作起到重要作用。

 

快速退火炉应用案例

l 快速热处理，快速退火，快速热氧化，快速热氮化

l 离子注入/接触退火

l SiAu, SiAl, SiMo合金化

l 太阳能电池片键合

l 电阻烧结

l 低介电材料热处理

l 晶体化，致密化

l 其他热工艺需求

 

 快速退火炉产品特点

l 可测大尺寸样品  可测单晶片样品的最大尺寸为4英寸（100mm）。

l 快速控温与高真空  最高升温速率可达100℃/s，真空度最高可达到10Pa。

l 程序设定与气路扩展   最多可创建和存储32个程序、8个PID设定，实现不同温度段的精确测试。最多可扩展至4条工艺气路（MFC），应用不同气氛环境（真空、氮气、氩气、氧气、氢氮混合气体等）。

l 全自动智能控制  采用全自动智能控制，包括温度、时间、气体流量、真空、气氛、冷却水等均可实现自动控制。

l 超高安全系数   采用炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停安全保护三重安全措施，全方位保障仪器使用安全。

      快速退火炉技术参数

型号

LRTP-1200

最高温度

1200℃

最高升温速率

100℃/s

最快降温速度

200℃/min(1000℃-->400℃)

控温精度

≤0.1℃

温场均匀性

≤0.5%

腔体冷却

水冷方式，独立冷却源

衬底冷却

氮气吹扫

工艺气路

MFC控制，4路(可选氮气、氩气、氧气、氢氮混合气等)

主机尺寸

450×625×535，单位mm


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¥ 10万 - 30万

工商信息

企业名称

武汉嘉仪通科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

420112000044971

成立日期

2009-08-19

注册资本

1001

经营范围

仪器、仪表、光电产品、工业自动化产品、实验室产品、工业控制系统及软件的设计、研发、制造、销售、技术服务;货物进出口、技术进出口(不含国家禁止或限制进出口的货物或技术)。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)

联系方式

武汉嘉仪通科技有限公司

公司地址

洪山区高新大道999号未来科技城

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武汉嘉仪通科技有限公司为您提供嘉仪通快速退火炉 LRTP，嘉仪通LRTP产地为湖北，属于国产退火炉，除了快速退火炉 LRTP的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供 红外退火炉 IRLA 、石墨烯退火炉 GRTP,嘉仪通客服电话，售前、售后均可联系。
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