核心参数
产地类别: 进口
应用参数
基础研究、地质分析、半导体分析、同位素比值研究
样品种类:
半导体材料、透明玻璃、石英、金属材料
产品综述
Excite Pharos 飞秒激光剥蚀系统是目前市场上非常好用的激光剥蚀系统。它配备有一个结构紧凑且密封的工业级准直激光器。该系统可配置1028nm、257nm和206nm波长的激光器,若有需要也能设计使用其他波长的激光器。Excite Pharos 飞秒激光剥蚀系统能够实现10 J/cm2 (1028nm)、5 J/cm2 (257nm)和3 J/cm2 (206nm)的能量密度。长期稳定运行情况下,该系统剥蚀稳定度RSD能达到0.1%。
Excite Pharos 能够与HelEx II样品池相互配合,以提供一个快速、持续、稳定的冲洗和剥蚀环境。
Teledyne Photon Machines 公司拥有University of Michigan 提供的全球许可,提供飞秒激光剥蚀系统用于化学分析,涉及专利U.S. patent 5,656,186 and U.S. Reissue Patent RE 37,585。与这些University of Michigan专利相关的的专利侵权问题的保护也涉及到使用该技术的Teledyne Photon Machines 公司的用户。
性能参数
l Light Conversion Pharos 2mJ或者Pharos SP 1.5 mJ
l 激光波长:1028nm、257nm、206nm
l 脉冲持续时间小于190 fs - 10 ps
l 脉冲能量能达到2mJ
l 可调的脉冲频率:1Hz - 200kHz
l 波长转换范围广(谐波发生器、OPA、NOPA、连续发生器)
l 只有一次光学折射,用于展宽最小脉冲
l 每一波长都有独立的光路
l 独立的摄像机和激光光学组件能够更好的查看样品剥蚀点
l 从1 - 65微米连续可调的光斑大小
l 与HelEx II型主动样品池兼容
l 集成的冷却系统,减少碳排放
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企业名称
冠乾科技(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310115002846111
成立日期
2015-10-26
注册资本
500
经营范围
从事生物科技、农业科技、电子科技、半导体科技、通信科技、环保科技、医疗科技、汽车科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让,商务信息咨询,市场信息咨询与调查(不得从事社会调研、社会调查、民意调查、民意测验),自有设备租赁(除金融租赁),五金交电、电动工具、实验室设备、机电产品、机械设备及配件、仪器仪表、电子设备、印刷器材、水处理设备、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品)、电子产品、劳防用品、玻璃制品的销售,从事货物与技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
冠乾科技(上海)有限公司
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浦东新区秀浦路800号50号楼1502室
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