深度制冷直接探测CCD相机在XUV、软X射线和极紫外（EUV）光谱中的应用

总部位于Chelmsford, MA的McPherson Instruments是一家设计精确分析工具的公司，旨在帮助科学家和科研人员研究从红外到软x射线和短紫外波长区域的分子和原子光谱。他们的251MX型平场光谱仪使用具有非球面波前的球面基板光栅，用于深紫外和软x射线区域工作的像差校正高分辨率光谱仪的记录。该仪器是软x射线、极紫外（EUV）和真空紫外析的理想选择。长焦距和直光谱线提供了良好的光谱分辨率。光谱仪非常适合与直接检测CCD探测器一起使用。该组合提供了快速、便捷的高能XUV光谱收集功能。

图1：使用氘光源获取的全传感器图像：（短波长Lyman-α朝向右侧）

McPherson能够用深度制冷（-80℃）CCD收集光谱，Eagle 47-10具有1024 x 1024像素的传感器和13*13um的像素。

如图1所示，有足够的波长范围可以看到完整的氘发射光谱。

在研发过程中，工程师发现发现这种直接检测CCD和光栅的组合可以简化设置。使用宽度为25um或更小的狭缝，可以很容易地检测到汞184.9nm的发射线。这意味着可以在不制冷的传感器甚至光谱仪中没有真空的情况下观察到汞发射线。以这种方式在空气和环境温度CCD探测器中操作，可以在工作台上设置和聚焦251MX仪器。在初始测试期间，不需要操作真空系统或提高探测器的性能。

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图2:251MX光谱仪上的Eagle XO

配备47-10或其他传感器的Raptor Photonics Eagle XO深度制冷相机包是紫外甚至软x射线光谱的优秀探测器系统，具体

取决于光谱仪的光学设计和波长能力。

Raptor Photonics  Eagle系列使用13.3mm宽的传感器，可以同时看到大约8nm的范围。这足以看到完整的氘发射光谱。

图3：显示汞和氘线的光谱

McPherson 251MX非常便于使用，它有一个双位置光栅支架，用于精确选择波长和定位多个光学元件。千分尺可调狭缝

的宽度在0.01~3mm之间。这种仪器的平场设计与带有微通道板增强器或直接检测CCD探测器的光谱仪一样易于使用。

Raptor与McPherson密切合作，开发了OEM CCD相机解决方案。

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图4:Eagle XO CCD相机

Raptor与世界各地的许多原始设备制造商和仪器公司合作，从事科学、监控和工业应用，这些公司需要定制设计来满足其精确的检测要求。我们通过详细的项目管理系统开发强大的解决方案。我们的质量、可靠性、灵活性和快速交付使我们成为OEM非常有吸引力的解决方案。