核心参数
产地类别: 国产
旋转速度: 50-10000
旋转精度: ±1%
最大加速度: 10000
基片直径: Φ5-Φ100
腔体直径: 310x260x250
CIF匀胶机转速稳定、启动迅速,旋涂均匀,操作简单,结构紧凑实用,为实验室提供了理想的解决方案。广泛应用于微电子、半导体、新能源、化工材料、生物材料、光学,硅片、载玻片,晶片,基片,ITO 导电玻璃等工艺制版表面涂覆等。
产品特点
v 采用闭环控制伺服电机,数字式增速信号反馈,速匀准确,寿命长,保证匀胶的均一性。
v 5寸全彩触摸屏,智能程序化可编程操控显示,标配10个匀胶梯度阶段(速度和时间梯度设置),可选配10个可编程程序,每个程序下可设置10个匀胶梯度阶段,z多100个阶段。
v 内置水平校准装置,大限度的保证旋涂均匀,可对大小不同规格的基片进行旋涂。
v 多重安全保护:
? 电磁安全开关,盖子打开卡盘停止,保证安全;
? 盖子自锁功能,防止飞片盖弹开伤人;
? 双重安全上盖,聚四氟嵌镶钢化玻璃,避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人,大限度保证实验人员安全。
v 样品托盘卡口和样品托盘之间三重密封安全保护,有效降低电机进胶的风险。
v 一机两用,根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂方式。
v 符合人体功能学的水平取放样品旋涂托盘设计,取放样品更方便。
v 不锈钢喷塑涂层旋涂壳体,旋涂腔体采用PTFE材料。旋涂托盘采用聚丙烯(NPP-H)材料,耐酸碱防腐蚀,保证仪器在苛刻条件下仍能正常运行。
v 上下双腔体设计,较大的上腔体便于擦拭去除胶液,锥形下腔体结构设计便于收集胶液,并带废胶收集装置
v 可选氮气吹干、氮气保护,自动滴胶或简易滴胶装置,提供更多的操作便利性。
v 适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP 等多种材料。
技术参数
型号 | 转速(转/分) | 转速稳定度 | 匀胶时间 | 旋涂基片尺寸mm | 外型尺寸(LxWxH)mm |
SC1 | 50-10000 | ±1% | 0-2000秒 | 圆片Φ5-Φ100,方片z大100x100 | 310x260x250 |
CIF匀胶机S C 1的工作原理介绍
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CIFS C 1多少钱一台?
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企业名称
华仪行(北京)科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91110106085450966N
成立日期
2014-02-24
注册资本
1005
经营范围
技术开发、技术咨询、技术服务;销售仪器仪表、化工产品、玻璃制品、教学设备、办公设备、电子产品、五金交电、计算机软硬件;维修仪器仪表;货物进出口。
华仪行(北京)科技有限公司
公司地址
丰台区科兴路7号国际企业孵化中心301室
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